KE-2050-2060-QA表 - 第24页
机 种 向CAL 块 上移 动 HMS 传感器 ， 拧 松2 处 的螺 丝 ｃａｐ， 把 传感器 下面和CAL 块 上面的距离 调整 成 规格 值, 拧紧螺丝 ｃａｐ， 进行 固定。 垂直 传感器 下面和CAL部上面的距离 此 时 ，确 认 ＦＡＲ灯和ＮＥＡＲ灯均亮灯。 → ４０±０．２ｍｍ ・高度 测定错误 ＮＯ ① ② ＮＯ． 担当人 ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ 【 3 】 － 1 QA表 ＮＯ． 1 (1/2) ＮＯ． 1 (…
机种
①手动控制，确认OCC垂直照明和角度照明的亮灯情况。 ※确认所有的OCC。
②前后转动偏光滤光镜，确认是否达到最亮的状态。
③确认测定蚀前后的安全护罩是否关闭。
（角度照明） LGET输出结果 AVE＿LVL ＝ 95±1 ④按照MS参数的指示，把白色陶瓷基板设置到CAL块上。
（垂直照明） LGET输出结果 AVE＿LVL ＝ 48±1 ※确认是否显示标准电流值。如果不是时，用PageUp,PageDown键进行变更。
⑤点击确认按键，调整电流值让VCS监视器的AVE＿LVL变成既定值。（参照图1、图2）
(注)标准电流值为12～180，偏差电流值为128。 ⑥调整后测定数次，确认是既定值。
⑦同样地调整所有的OCC垂直照明、角度照明。
（注）白色陶瓷基板使用3个月后应更换新的。（脏污后应及时更换。）
BOC标记、IC标记识别时的照明亮度调整影响识别的摄像。
也影响供料标记识别的摄像。
①标记识别
精度恶化
②发生标记识别异常
③贴装偏斜
④吸附位置自动修正位置偏斜
⑤吸附率降低
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
④ 3
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【
2
】
－2
QA表 ＮＯ． 1 (1/2) ＮＯ． 1 (2/2)
由于OCC照明变更而改订（变更规格调整值）
E2107998000 陶瓷基板（V002) 2003.06.05
内容
40001979
OCC同轴照明基板组 DC电源输出电压
2002.09.30
新设定
40001982
OCC角度照明基板组 DC电源输出电压
日期
40001904
LIGHT CONTROL基板组（KE2060） LIGHT CONTROL基板的基准电压
变更履历
货号
品名
有关质量特性
对象元件
预想故障（应规格调整值不良而发生的故障）
质量保证类别
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用（规格调整值的意义）
功能名称
OCC照明光量调整（OCC照明）
编制日期
2002/9/30
KE-2050/KE-2060 装置名称 OCC装配
确认方法及调整方法（故障处理方法）
図1 MSパラメータ画面
図２ VCSモニタ
机种
向CAL块上移动HMS传感器，拧松2处的螺丝ｃａｐ，
把传感器下面和CAL块上面的距离调整成规格值,
拧紧螺丝ｃａｐ，进行固定。
垂直传感器下面和CAL部上面的距离 此时，确认ＦＡＲ灯和ＮＥＡＲ灯均亮灯。
→ ４０±０．２ｍｍ
・高度测定错误
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【
3
】
－
1
QA表 ＮＯ． 1 (1/2) ＮＯ． 1 (2/2)
KE-2050/60 装置名称 HMS
确认方法及调整方法（故障处理方法）
功能名称
HMS传感器高度调整
编制日期
2002/9/4
质量保证类别
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用（规格调整值的意义）
预想故障（应规格调整值不良而发生的故障）
对象元件
变更履历
货号
品名
有关质量特性
内容
2002.10.09
新设定
日期
CALブロック上面
CAL部上面
セムス
ｃａｐ
ＦＡＲ
灯
ＮＥＡＲ
灯
ﾚﾝｼﾞ表示灯
点灯状態
ＮＥＡＲ/ＦＡＲ 両点灯：
測定中心距離±1ｍｍ
ＮＥＡＲ 点灯：
測定範囲内近距離側
FAR 点灯：
測定範囲内遠距離側
ＮＥＡＲ/ＦＡＲ 両点滅
：測定範囲外
机种
向CAL块上移动坏标记传感器，拧松螺丝ｃａｐ（2处），
让坏标记传感器下面和CAL块上面的距离变为规格值
移动BM镜头架，然后用螺丝ｃａｐ固定。
・坏标记传感器和CAL部上面的距离 →
28
mm
・坏标记的检测错误
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③ 梶並
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【
4
】
－
1
QA表 ＮＯ． 1 (1/2) ＮＯ． 1 (2/2)
内容
2002.10.09
新设定
日期
变更履历
货号
品名
有关质量特性
对象元件
预想故障（应规格调整值不良而发生的故障）
质量保证类别
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用（规格调整值的意义）
功能名称
BMR传感器高度调整
编制日期
2002/9/4
KE-2050/60 装置名称
坏标记传感器 确认方法及调整方法（故障处理方法）
+0.5
0
CALﾌﾞﾛｯｸ
上面
CAL部
上面
バッドマークセンサ
セムスｃａｐ
ＢＭレンズホルダ