CMKMG-171-0100_YSM10_Mainte_C 设备保养手册.pdf - 第116页
4-9 4 ■ [ 装置 ] -“自动托盘”画面 sATS15 发生错误时，需确认显示的错误提示的内容、实际的载盘位置，与 [ 装置 ]-“自动托盘”画面的传感器状态。 [装置] -“自动托盘”画面 传感器状态的显示区 56405-KMG-00 ■ 传感器列表 sATS15 各部的状态由传感器监控，可以在画面上进行确认。 传 感器 显 示 亮 灯时 的 意 义 柜 门开 关 柜门 开 关已 旋 至“ O P EN ” 侧 。 柜 门开…
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4.1 日常点检
4.1.1 检查载盘的状态与载盘安装状态
在日常生产过程中更换盘装元件时，需检查载盘的状态与载盘的安装状态。
■ 点检要点
‧
载盘无变形。
‧
载盘抽出部无磨耗或损坏。
‧
载盘已正确插入了装载柜中。
‧
在实际生产过程中可正常抽出或退回载盘，既无异响也无错误发生。
sATS15
日常点检项目
载盘抽出部无磨耗或损坏载盘无变形
载盘已正确插入了装载柜中
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n
要点
若载盘有变形时，请不要使用，换上其它载盘。
n
要点
发生与 sATS15 相关的错误时，请参照下页的“传感器列表”确认显示的错误提示与各个传感器的感应是否正常。
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■ [ 装置 ] -“自动托盘”画面
sATS15 发生错误时，需确认显示的错误提示的内容、实际的载盘位置，与 [ 装置 ]-“自动托盘”画面的传感器状态。
[装置] -“自动托盘”画面
传感器状态的显示区
56405-KMG-00
■ 传感器列表
sATS15 各部的状态由传感器监控，可以在画面上进行确认。
传感器显示 亮灯时的意义
柜门开关 柜门开关已旋至“OPEN”侧。
柜门开启安全位置 1
柜门开启安全位置 2
打开装载柜柜门时，载盘处于安全位置。
柜门已解锁 装载柜的柜门已解除锁定。
闩锁
打开
关闭
装载柜内侧的防止载盘滑出用挡板为打开状态。
装载柜内侧的防止载盘滑出用挡板为关闭状态。
载盘滑出 从装载柜中有载盘滑出。
传感器显示 内容
载盘号码 显示当前被抽到载盘工作台的载盘号码。
传感器显示 亮灯时的意义
抓手
夹固
松开
有载盘
载盘抓手关闭 ( 夹固状态 )。
载盘抓手打开 ( 松开 )。
载盘抓手抓有载盘。
载盘工作台
作业位置
中间位置
载盘已退回
载盘已被抽到载盘工作台。
载盘正在向载盘工作台抽出。
载盘已被退回与载盘工作台高度相同的装载柜层中。
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4.2 每月
4.2.1 检查装载柜与滑轨的状态
每月需检查 1 次装载柜与滑轨的状态。
■ 点检要点
‧
装载柜的载盘滑轨部无磨损。
‧
载盘挡板无松动。
‧
装载柜柜门无变形。
‧
滑轨部无磨损。
‧
滑轨部有尘屑或异物时，需使用吸尘工具等清除。
sATS15
检查装载柜与滑轨的状态
载盘挡板无松动
载盘滑轨部无磨损
滑轨部无异物或尘屑
柜门无变形
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