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CONTENTS Fig. D1 基板認識部 PEC RECOGNITION SECTION Fig. D1-A1L 全体図１( L 流れ ) P ARTS LA YOUT -1(Left Flow) Fig. D1-A1R 全体図１( R 流れ ) P ARTS LA YOUT -1(Right Flow) Fig. D1-A2 全体図２ P ARTS LA YOUT -2 Fig. D1-1 X 軸駆動部 X Axis Drivin…
CONTENTS
Fig. D1
基板認識部
PEC RECOGNITION SECTION
Fig.
D1-A1L
全体図１(
L
流れ )
PARTS LAYOUT-1(Left Flow)
Fig.
D1-A1R
全体図１(
R
流れ )
PARTS LAYOUT-1(Right Flow)
Fig. D1-A2
全体図２
PARTS LAYOUT-2
Fig. D1-1
X
軸駆動部
X Axis Driving Section
Fig. D1-2L
基板認識カメラ、バックアップピン自動段取り
(
L
流れ )
PEC Recognition Camera, Back-Up Pin Auto Set Up(Left Flow)
Fig. D1-2R
基板認識カメラ、バックアップピン自動段取り (
R
流れ )
PEC Recognition Camera, Back-Up Pin Auto Set Up(Right Flow)
Fig. D1-3
ソレノイドバルブ
Solenoid Valve
Fig. D1-4
基板検出部
PEC Detection Section
Fig. D1-5
Y
軸駆動部
Y Axis Driving Section
Fig. D1-6
エア配管
Air Piping
Fig. D1-7
ケーブル
Cable
0912-002
Fig. D1
UNIT-3
Fig. D1
PEC RECG
129
172
237
234
234
281
230
112
232
225
228
227
222
143
154
142
1B9
1C0
1B8
1B7
1B7
149
150
151
1B4
1B5
1B1
1B6
1B5
1B2
1B3
139
1D7
1D9
1D8
1D7
1E0
143
154
142
149
150
151
1D4
1D1
1D6
1D5
1D5
138
1D2
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153
150
151
194
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1A0
199
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197
192
193
0900610L
147
106
151
155
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154
142
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343
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242
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46
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2
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3
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63
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0900610M
0900610N
12
C
C
A
A
3A1
3A1
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389
384
391
396
3A1
3A1
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396
396
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389
389
384
391
390
3A3
3A4
3A4
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3A4
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3A3
385
224
223
0900610K
86
47
48
83
Fig.
D1-A1L
全体図１(
L
流れ )
PARTS LAYOUT-1(Left Flow)
1102-003
Fig. D1
基板認識部
PEC RECOGNITION SECTION
UNIT-3
Fig. D1
PEC RECG