P-311-003 - 第136页
405 401 404 408 407 402 403 406 0900610P Y AXIS MOTOR ASSY 09006133 PCB RCG UNIT 0900610L CAMERA ASSY 0900610M V ACUUM 1 ASSY 0900610N V ACUUM 2 ASSY 0900610K 090061 1Q AIR PIPING 09006121 CABLE ASSY P ARTS (Fig. D1-5 Ke…
1102-003
Fig. D1
0900610K
112
232
225
228
227
371
343
374
371
343
374
398
399
3A0
260
242
243
271
242
243
261
247
248
233
247
248
341
342
343
398
399
3A0
398
399
3A0
398
399
3A0
398
399
3A0
12
C
C
A
A
3A1
3A1
383
396
389
384
391
396
3A1
3A1
391
389
395
394
393
384
390
396
396
391
384
389
389
384
391
390
3A3
3A4
3A4
3A3
381
392
381
385
386
381
3A3
388
3A4
3A4
381
3A3
385
224
223
Fig. D1-A1R
UNIT-3
Fig. D1
PEC RECG
405
401
404
408
407
402
403
406
0900610P
Y AXIS MOTOR ASSY
09006133
PCB RCG UNIT
0900610L
CAMERA ASSY
0900610M
VACUUM 1 ASSY
0900610N
VACUUM 2 ASSY
0900610K
0900611Q
AIR PIPING
09006121
CABLE ASSY
PARTS
(Fig. D1-5 Key No.401-408)
PARTS
(Fig. D1-2 Key No.191-1A0)
PARTS
(Fig. D1-2 Key No.1B1-1C0)
PARTS
(Fig. D1-2 Key No.1D1-1E0)
PARTS
(Fig. D1-4 Key No.381-3A4)
P
ARTS
(Fig. D1-6 Key No.501-504)
PARTS
(Fig. D1-7 Key No.601-620)
PARTS
(Fig. D1-1 Key No.1-86
Fig. D1-2 Key No.106-172
Fig. D1-3 Key No.21
1-281
Fig. D1-4 Key No.341-374)
PCB DETECTION ASSY
Fig. D1-A2
全体図２
PARTS LAYOUT-2
1102-003
Fig. D1
基板認識部
PEC RECOGNITION SECTION
UNIT-3
Fig. D1
PEC RECG
MEMO