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Key No. P AR T No. P AR T NAME Q’ty REMARKS NOTE 501 0900G1 1R TUBE 1 30900061 1Q-001 502 0900G1 1S TUBE 1 30900061 1Q-002 503 0900G1 13 PIPE_FITTING 1 30900061 1Q-003 504 0900G1 12 PIPE_FITTINGS 1 30900061 1Q-004 Fig.G …

100%1 / 346
Fig. D1-6
エア配管
Air Piping
501
503
502
504
From Main Body
To Main Body
0912-002
Fig. D1
基板認識部
PEC RECOGNITION SECTION
UNIT-3
Fig. D1
PEC RECG
Key No. PART No. PART NAME Q’ty
REMARKS
NOTE
501 0900G11R TUBE 1 309000611Q-001
502 0900G11S TUBE 1 309000611Q-002
503 0900G113 PIPE_FITTING 1 309000611Q-003
504 0900G112 PIPE_FITTINGS 1 309000611Q-004
Fig.G
0912-002
Fig. D1-6
UNIT-3
Fig. D1
PEC RECG
SIGMA-P4
Fig. D1-7
ケーブル
Cable
614
614
614
620
614
619
618
614
614
620
603
612
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610
613
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616
615
615
615
613
613
613
116
116
615
617
613
608
604
X1351
X350
X1350
X1089
X1B04
AX109
603
609
601
X1068
X1078
X1065
X107C
609
610
609
604
607
610
602
606
605
607
B354
X351
B353
B351
AB8
B89
B68
B65
B66
B67
M35
M35
AX107
AX106
AB6
B69
AY9
Y9C
Y7C
Y79
AE7
E7B
Y78
Y79
Y7C
X2068
X2065
Y78
B04
1102-003
Fig. D1
基板認識部
PEC RECOGNITION SECTION
UNIT-3
Fig. D1
PEC RECG