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Key No. P AR T No. P AR T NAME Q’ty REMARKS NOTE 204 222H0033 CAM_FOLLOWER 4 1090004004-004 205 21 1DE374 PLA TE 1 1090004004-005 206 222J0230 BUSH_BALL 3 1090004004-006 207 21 1DE883 PLA TE 1 1090004004-007 208 213F0028…

100%1 / 346
Fig. B1-3
下テーブル
Lower Table
217
206
206
206
209
209
209
207
208
205
216
216
216
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220
220
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216
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213
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204
204
204
218
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218
219
218
219
218
219
209
220
204
217
0912-002
Fig. B1
テーブル、基板チャック部
TABLE, PCB CHUCK SECTION
UNIT-1
Fig. B1
TABLE
Key No. PART No. PART NAME Q’ty
REMARKS
NOTE
204 222H0033 CAM_FOLLOWER 4 1090004004-004
205 211DE374 PLATE 1 1090004004-005
206 222J0230 BUSH_BALL 3 1090004004-006
207 211DE883 PLATE 1 1090004004-007
208 213F0028 CAM_BASE 1 1090004004-008
209 211G4241 BLOCK 4 1090004004-009
213 221AA030 ROHS_HEX-SCT 2 1090004004-013
214 221HA005 WASHER 4 1090004004-014
215 221HA105 WASHER 4 1090004004-015
216 221AA031 ROHS_HEX-SCT 10 1090004004-016
217 221AA043 ROHS_HEX-SCT 12 1090004004-017
218 221BA031 BOLT_HEX 4 1090004004-018
219 221FA011 NUT_HEX 4 1090004004-019
220 221FA013 NUT_HEX 4 1090004004-020
Fig. B1
1102-003
Fig. B1-3
UNIT-1
Fig. B1
TABLE
SIGMA-P4
Fig. B1-4
Z
軸駆動部
Z Axis Driving Section
327
327
327
322
322
322
368
323
323
323
336
336
336
330
334
370
369
365
324
329
367
350
351
352
350
351
352
374
375
353
354
376
372
371
373
347
366
335
335
335
366
364
364
325
325
326
See Fig. B1-6
Key No.591
0912-002
Fig. B1
テーブル、基板チャック部
TABLE, PCB CHUCK SECTION
UNIT-1
Fig. B1
TABLE