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MEMO

Key No. PART No. PART NAME Q’ty
REMARKS
NOTE
Fig. B1-8R
0912-002
Fig. B1
753 221AA007 ROHS_HEX-SCT 1 3090004009-013
754 221HA301 ROHS_WASHER 1 3090004009-014
755 221CA005 SET_SCREW 2 3090004009-015
756 221FA009 NUT_HEX 1 3090004009-016
757 221HA005 WASHER 1 3090004009-017
758 221HA105 WASHER 1 3090004009-018
761 0900E044 TUBE_D4 1 409000403R-001
UNIT-1
Fig. B1
TABLE
SIGMA-P4

MEMO

Fig. B1-9
バックアップベース
Back Up Base
836
818
817
818
817
804 813
812
118
813
812
118
808
819
814
815
821
821
805
820
807
832
831
833
837
837
834
836
837
834
837
833
810
810
809
806
1102-003
Fig. B1
テーブル、基板チャック部
TABLE, PCB CHUCK SECTION
UNIT-1
Fig. B1
TABLE