KD-2077_MCP_Rev1.0_C - 第67页
R e v . 1 . 0 机械控制参数 4-35 输入范围 № 项目 最小值 最大值 单位 备考 5 速度 (pps) pps 6 加速度 (pps2) pps 2 7 减速度 (pps2) pps 2 8 支撑台 ( 速度表 ) 反动冲击率 (%) % 控制方式选择 ３ 的台形驱动时， 此速度表为上限值 9 分解能 脉冲 0.001μm 10 陶瓷基板尺寸 mm 基板尺寸不到该值时，请使用 钳夹时陶瓷用的基板推入量。 注 1) 在 …
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机械控制参数
4-34
4-3 传送
4-3-1 支撑台
图 4-3-1 支撑台
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[传送]→[支撑台]
起动∶ [传送]按键→[支撑台]按键
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单位 备考
1 区分 0 16 参照(3)区分
2 控制变换 Stroke mm
3 控制方式
1: 加速度固定(速度・ 时间可
变),
2: 时间固定(速度・ 加速度可
变),
3: 台形驱动(时间可变／速度・
加速度固定)
4 移动时间 ms
控制方式选择２的时间固定时
设定
Rev.1.0
机械控制参数
4-35
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单位 备考
5 速度(pps) pps
6 加速度(pps2) pps
2
7 减速度(pps2) pps
2
8
支撑台
(速度表)
反动冲击率(%) %
控制方式选择３的台形驱动时，
此速度表为上限值
9 分解能 脉冲 0.001μm
10 陶瓷基板尺寸 mm
基板尺寸不到该值时，请使用
钳夹时陶瓷用的基板推入量。
注 1) 在“区分”上选择了 0～11 之后，在“变换行程”上可以设定最多 5 级的控制参数。“变换行程”的“１”
为 5，“２”为 50，“３”为 0 时，第 1 级为Ｓ≦5，第 2 级为 5＜Ｓ≦50，第 3 级为 50＜Ｓ。
注 2) 在“区分”上选择了 12～16 之后，仅可以编辑“脉冲”和画面“１”列的“速度(pps)”、“加速度(pps2)”、
“减速度(pps2)”、“反动冲击率(%)”。
(3)类别
№ 类别 内 容
1 0 上升(高速)销基准时
2 1 上升(高速)外形基准时
3 2 下降(高速)销基准时
4 3 下降(高速)外形基准时
5 4 上升(中速)销基准时
6 5 上升(中速)外形基准时
7 6 下降(中速)销基准时
8 7 下降(中速)外形基准时
9 8 上升(低速)销基准时
10 9 上升(低速)外形基准时
11 10 下降(低速)销基准时
12 11 下降(低速)外形基准时
13 12 返回原点时 HOME 检索(高速 JOG)
14 13 返回原点时检索零相(低速 JOG)
15 14 演示(STEP 动作)
16 15～16 预备
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机械控制参数
4-36
4-3-2 AWC马达
图 4-3-2 AWC 马达
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[传送]→[AWC 马达]
起动∶ [传送]按键→[AWC 马达]按键
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单位 备考
1 区分 0 9 参照(3)区分
2 速度(pps) pps
3 加速度(pps2) pps
2
4
AWC 马达
(驱动方式)
减速度(pps2) pps
2
5 分解能 脉冲 0.001μm
初期值:10000
(10μm)
6 返回量(定位精度用) 0.1μm
初期值:10000
(1mm)
(3)类别
№ 类别 内 容
1 0 返回原点时
2 1 JOG 动作时
3 2 高速 PTP
4 3 中速 PTP
5 4 低速 PTP
6 5～9 预备