FX-3R_QA表 - 第12页

QA表 NO. 2/ 2 机种 2. 中心上侧-下侧的Y轴导向导轨的平行度(Z方向) 2-1. 确认方法 ① 在直线导向器块上设置千分尺,把千分表靠在相反侧的直线导向器的基准面侧上。 ② 确认直线导向器的整个行程,平行度都要在10 ㎛ 以下。 2-2. 调整方法 ① 拧松平行度在规定值以外附近的导向导轨的螺钉,再次调整导轨位置使平行度在10 ㎛ 以下,然后拧紧螺钉。 NO. 担当人 【1】-4 FX-3R 装置名称 XY装置(2) 功能…

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