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QA表 NO. 1/ 1 机种 VAC_CAL装置的平行调整 1. 把厚度9mm的块规放在校准板上。 2. 把VAC_CAL治具盖在 VAC_CAL装置上。 1. 按照校准板基准调整高度 ±0.1mm 3. 将千分表接触块规上,作为0。 2. VAC_CAL装置的平行度 4. 调整到VAC_CAL治具的高度和X方向的 30μm 平行度处于规格值范围内。 ※平行度的MAX或MIN不要超过高度的规格值。 5. 调整后正式固定螺丝。 ※如果实…

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