FX-3R_QA表 - 第69页

QA表 NO. 1/ 1 机种 1.把传感器配件和传感器的间隙(下图)调整成规格值。 1.安装在BU台上的传感器配件和BU原点传感器的间隙(Y方向)为 1mm 1.确实地检测原点 1.BU台原点复位时,不能检测原点,BU台超过最下点(机械止动器)。 NO ① ② NO. 担当人 ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ 【5】-20 FX-3R 装置名称 基板传送 确认方法及调整方法(故障处理方法) 功能名称 BU台的高度位置识别(原点传感器) …

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