N7201A552C09_SPG_Operating Procedure_操作手冊 - 第102页

SPG EJP6AC-MB-0 4OM-02 生产数据 编辑 基板识别数据的编辑 4-1-2 -1 操作篇 4-1-2 9 6 5 7 3 4 5 输入 A 点的识别点坐标 选择识别方法 9 ( 返回「主菜单」画面 ) 7 设定 B 点、 Pa 点、 Pb 点 ( 重复步骤 ~ ) 结束后 ●「形状指定 ( 自动 ) 」 ( 推荐 ) ( 最初的基板识别时自动调整照明值 ) ●「形状指定 ( 手动 ) 」 ( 通过基板识别校正 , 指定…

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SPG EJP6AC-MB-04OM-02
1
2
3
输入基板尺寸
坐标原点设定在基板四角以外时
输入原点偏移值
5
(返回「主菜单」画面)
选择坐标基准
■基板尺寸
输入长度(传送方向的长度)
宽度(与传送方向相垂直面的长度)、厚度。
(至小数点之后2位数有效)
●输入范围
L(长度): 50510 mm
W(宽度): 50460 mm
T(厚度): 0.38.0 mm
■坐标基准
选择成为坐标基准的基板角。
●选择的基板角成为原点(0,0)。
■原点偏移值
输入从坐标基(基板角)到坐标原点的尺寸
(小数点之后2位数有效)
●输入范围
X : -20510 mm
Y : -20460 mm
■传送速度
从高速(标准)中速低速超低速4等级
中选择传送带速度。
编辑要点
4
选择传送速度
基板尺寸
坐标基准
原点偏移值
传送速度
4-1-1-2
■晶片、软基板等特殊基板时
■将基板的角视为坐标原点时
SPG EJP6AC-MB-04OM-02
生产数据
编辑
基板识别数据的编辑
4-1-2-1
操作篇
4-1-2
9
6
5
7
3
4
5
输入A点的识别点坐标
选择识别方法
9
(返回「主菜单」画面)
7
设定B点、Pa点、
Pb
(重复步骤 )
结束后
●「形状指定(自动)(推荐)
(最初的基板识别时自动调整照明值)
●「形状指定(手动)
(通过基板识别校正,指定照明值)
●「1点区块」(不用标记,而是用图像的
图案匹配进行识别。不可使用整体校
)
顺序
6
「形状指定」时
选择标记颜色、形状和尺寸
1
8
8
1 4
1
3 4
2
将识别模式设定为「基板」
2
选择识别点
SPG EJP6AC-MB-04OM-02
■识别模式
●基板AB
通过AB2点进行识别。
通过2点所得偏移值xy∆θ的数值,对其补
正。
AB+Pa
通过AB点和图形1点(Pa)进行识别。
AB+PaPb
通过AB点和图形2点(Pa,Pb)进行识别。
(对特定的间距图形进行重点补正时选择)
AB→∆θθ方向的补正
PaPb)点 xyxy方向的补正
* 周围5 mm以内有同一图形时,不可使用。
●基板A
只通过A点进行识别。
只补正A点的偏移值xy,不进行∆θ的补正。
(不进行θ的补正,即可得到所要求的精度时,
利于提高生产效率
)
编辑要点
识别模式
识别位置
■识别位置
●识别点坐标X,Y)
选择并输入基板上2个标记,作为识别点AB
(选择对角线上分开的2点)
X
2
Y
1
Y
2
A
X
1
Pa
Pb
B
原点(0,0
基板识别标记
基板传送方向
4-1-2-2
(右后侧基准时)