JX-200维修调整要领书.pdf - 第44页

Rev . 1.0 维修调整要领书 3-1 3 贴装头周边 3-1 ．推顶器的更换降低主体的原压力，进行更换。电磁阀、压力传感器因为插头类型的不同，请不要连接错误，更换后请用手动控制的贴装头真空和鼓风装置ＯＮ／ＯＦＦ进行确认。注）请不要弄丢电磁阀的里面有油封、压力传感器的Ｏ形环等零件。１）请卸下贴装头顶盖，从电路板上拆下连接器。２）请卸下喷射器护罩，拆下喷射器。３）请松开过滤器箱的安装螺钉…

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2-11

2-8．更换后重新调整项目一览

激光偏差贴装头偏差贴装综合偏差 VCS 摄像机偏差 VCS综合偏差

贴装头组件 ○ ○ ○ ○ ○

Z 电动机 ○

θ 电动机 ○ ○ ○

Z 传感器 ○

LNC60 ○ ○ ○

同步皮带 Z ○

同步皮带 θ ○

Z 滑动轴 ○ ○ ○

MS 参数请从左边按顺序输入。

更换贴装头装置组、Z 电动机、同步皮带 Z 后进行激光偏差输入时，请将激光偏差的基板上面高度

值置为 0 之后重新取得。如果仍是更换前的偏差值，有些情况下可能不能正确取得偏差或不能自动

取得。

注意

为了防止伤害人体，HOD 操作中请不要把手伸进机器，也不要把脸和头靠近机

器。

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3-1

3 贴装头周边

3-1．推顶器的更换

降低主体的原压力，进行更换。

电磁阀、压力传感器因为插头类型的不同，请不要连接错误，更换后请用手动控制的贴装头真空和鼓风

装置ＯＮ／ＯＦＦ进行确认。

注）请不要弄丢电磁阀的里面有油封、压力传感器的Ｏ形环等零件。

１）请卸下贴装头顶盖，从电路板上拆下连接器。

２）请卸下喷射器护罩，拆下喷射器。

３）请松开过滤器箱的安装螺钉，更换喷射器。

４）请按相反的操作顺序进行安装。

※ 请确认各 O 形环已嵌入，并检查有无漏气。

图 3-1-1

为了防止突然的起动发生事故，请关掉电源之后再进行操作。

危险

安装螺钉 M4×6

安装螺钉 M4×10

贴装头顶盖

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3-2

图 3-1-2

图 3-1-3

喷射器护罩

喷射器

安装螺钉 M4×35

安装螺钉 M3

过滤器箱

喷射器组

安装螺钉 M3