JX-200维修调整要领书.pdf - 第82页
Rev. 1.1 维修调整要领书 9-6 9-3 . 真空计的更换(选项) 1) 请确认真空泵未在运行。 2) 请取下护罩 FB 。 3) 请从真空计上取下φ6空气管。 4) 旋转真空计背面的树脂部件,卸下真空计。 5) 装配时请按照相反的顺序进行。 面板托架 真空计 树脂固定部件

Rev. 1.1
维修调整要领书
9-5
9-2.滤清器的更换
1) 以便把滑动部下降,以便把主体向左或右转动45度然后拔下来三。
2) 更换空气滤清器侧的滤清器B时,向左转动固定滤清器B的树脂零件就可以卸下来。
3) 更换喷雾器侧的滤清器A时,把滤清器A向左转动就可以卸下来。
4) 安装时,请按照相反的程序进行。
注) 作业之前,请关闭蝶阀。
过滤器滤芯的寿命为 2 年或是过滤器出现明显污染时。
喷雾器
空气滤清器
滤清器A
滤清器B
树脂零件
滑动部

Rev. 1.1
维修调整要领书
9-6
9-3.真空计的更换(选项)
1) 请确认真空泵未在运行。
2) 请取下护罩 FB。
3) 请从真空计上取下φ6空气管。
4) 旋转真空计背面的树脂部件,卸下真空计。
5) 装配时请按照相反的顺序进行。
面板托架
真空计
树脂固定部件

Rev. 1.1
维修调整要领书
9-7
9-4.真空泵部件的更换(选项)
使用开始 9 个月后基本上应更换下列消耗部件。请参照以下操作顺序进行更换、擦洗。
表 1 的零件全部包含在 40099554 VACUUM PUMP MAINTENANCE KIT 内。
表 1 消耗部件一览(40099554 VACCUM_PUMP_MAINTENANCE_KIT)
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件
2
有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀
2
有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀
2
有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67
2
有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环 P-10
4
有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈
2
有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶
2
有无裂痕、硬化 目检
需要更换下述时,请另行购买。
・
真空黄油 货号:40119551
在 O 环 P-10 上涂抹黄油。
・
螺钉松动防止剂 NK-4 货号:40119552
在拧紧固定器时(更换碗形密封垫圈、
防止吸气阀碰触胶垫)需要。
○更换准备
1) 请确认真空泵没有运行。
※真空泵运行后泵内部会发热,
必须停止,放置约 30 分钟,
确认泵已经冷却后,
才可开始进行更换、清扫作业。
2) 请拆下主体正面的外罩。
3) 请拆下有调节器的面板盖子。