XPF-L机械手册.pdf - 第8页

目录 MEC-XPF-5.2S ii XPF 机械手册 4.3.2 特殊维修保养指令的特征 ................... 25 4.3.3 方法 ..................................... 26 4.4 关于硬件传送模式密匙的使用 .............. 27 4.4.1 要点 ..................................... 27 4.4.2 硬件传送模式运转方…

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MEC-XPF-5.2S 目录
XPF 机械手册 i
目录
1. 安全指南................................... 1
1.1 标记的含义 .............................. 1
1.1.1 危险度的定义 .............................. 1
1.1.2 图标记号示例 .............................. 1
1.2 所有机型共通的注意事项 .................. 2
1.3 机器特有的注意事项 ...................... 4
1.4 安全标示 ................................ 6
1.5 [ 紧急停止 ] 按钮......................... 8
1.6 关于闭锁 ................................ 9
1.6.1 如何实施闭锁 .............................. 9
1.6.2 如何解除闭锁 ............................. 10
2. 机器使用上的注意事项...................... 11
3. 机器主体.................................. 13
3.1 机器的构成部分 ......................... 13
3.1.1 机器前侧 (Side 1)......................... 13
3.1.2 机器后侧 (Side 2)......................... 13
3.2 各部分的功能 ........................... 19
3.2.1 贴装关系 ................................. 19
3.2.2 元件供应关系 ............................. 20
3.2.3 影像处理关系 ............................. 20
3.2.4 电路板搬运关系 ........................... 20
3.2.5 电气控制关系 ............................. 21
4. 基本操作.................................. 23
4.1 搬运轨道宽度的变更 ..................... 23
4.1.1 要点 ..................................... 23
4.1.2 方法 ..................................... 23
4.2 真空支撑销位置的变更 ................... 24
4.2.1 要点 ..................................... 24
4.2.2 方法 ..................................... 24
4.3 维修保养钥匙的使用 ..................... 25
4.3.1 要点 ..................................... 25
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目录 MEC-XPF-5.2S
ii XPF 机械手册
4.3.2 特殊维修保养指令的特征 ................... 25
4.3.3 方法 ..................................... 26
4.4 关于硬件传送模式密匙的使用 .............. 27
4.4.1 要点 ..................................... 27
4.4.2 硬件传送模式运转方法 ..................... 27
4.4.3 硬件传送运转的停止方法 ................... 27
4.4.4 硬件传送模式的解除方法 ................... 28
4.5 MFU-30/MFU-40 的使用注意点 .............. 29
4.5.1 使用上的注意点 ........................... 29
4.5.2 MFU-30/MFU-40 的装卸方法 ................. 30
4.5.3 关于 MTU-40 盖板位置 ...................... 31
4.6 MTU-A/MTU-A2 的使用注意点 ............... 34
4.6.1 使用上的注意点 ........................... 34
4.6.2 MTU-A/MTU-A2 的装卸方法 .................. 36
4.6.3 MTU-A2 侧盖板的更换方法 .................. 37
4.7 BTU-A/BTU-A2 的使用注意点 ............... 40
4.7.1 使用中的注意点 ........................... 40
4.7.2 BTU-A/BTU-A2 的装卸方法 .................. 42
4.7.3 BTU-A2 通用盖板的装卸方法 ................ 43
4.8 BTU-B 的装卸 ............................ 44
4.8.1 BTU-B 的安装 · 拆除步骤 .................. 45
4.8.2 安装 BTU-B 到固定料站 (50 料站 ) 上时 ....... 46
4.8.3 从 BTU-B 返还到固定料站 (50 料站 ) ....... 49
4.8.4 在 MFU-30 上安装 BTU-B .................. 51
4.8.5 从 BTU-B 返还到 MFU-30 上时 ................ 53
4.8.6 在插拔非对应环境下使用的 MFU-40 上安装 BTU-B
......................................... 55
4.8.7 在插拔非对应环境下从 BTU-B 返还到使用的 MFU-40
上时..................................... 57
4.8.8 在固定料站 (64 料站 ) 上安装 BTU-B 的时候 ... 60
4.8.9 从 BTU-B 返还到固定料站 (64 料站 ) ....... 63
4.8.10 在插拔对应环境下安装 BTU-B 到使用的 MFU-40 上时
......................................... 65
4.8.11 BTU-B 在插拔对应环境下返还到使用的 MFU-40
时....................................... 67
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MEC-XPF-5.2S 目录
XPF 机械手册 iii
5. 维修保养.................................. 71
5.1 清扫 ................................... 71
5.1.1 废料带排出箱的清扫 (每 8 小时)
表面薄膜排出箱的清扫 (每 8 小时)......... 71
5.1.2 不良元件排出盒、不良元件排放盘的清扫
( 每日 /24 小时 ).......................... 72
5.1.3 MFU-30/MFU-40 的清扫 ( 每日 /24 小时 ) ...... 74
5.1.4 MTU-A/MTU-A2 的清扫 ( 每日 /24 小时 ) ....... 75
5.1.5 BTU-A 的清扫 ( 每日 /24 小时 ) .............. 75
5.1.6 回收极小元件过滤器的清扫 ( 每周 /160 小时 ). 76
5.1.7 玻璃元件、彩色样品、校正尺芯片元件的清扫
(每周 /160 小时)......................... 77
5.1.8 真空支撑销存储器 ( 选项 ) 的清扫 ( 每周 /160 小时 )
......................................... 77
5.1.9 频闪灯半透镜和棱镜面的清扫 ( 每周 /160 小时
)........................................ 78
5.1.10 机器内部的清扫 ( 每周 /160 小时 ).......... 80
5.1.11 空气调节器的清扫 ( 每月 /700 小时 )........ 80
5.1.12 控制箱冷却器风机过滤器的清扫 ( 每月 /700 小时 )
......................................... 82
5.1.13 频闪灯单元的清扫 (每3个/2000 小时 ) .. 83
5.1.14 真空泵用过滤器的清扫 ( 3000 小时 ) ..... 84
5.1.15 清扫检查表 .............................. 86
5.2 加油 ................................... 87
5.2.1 加油时的注意事项 ......................... 87
5.2.2 润滑油的种类 ............................. 87
5.2.3 加油枪配套工具的介绍 ..................... 88
5.2.4 加油要点 ................................. 89
5.2.5 加油方法 ................................. 89
5.2.6 贴装工作头加油处 (1).................... 92
5.2.7 贴装工作头加油处 (2).................... 93
5.2.8 支撑销配置头 (选项)的清扫和加油 [ 每月 ]. 94
5.2.9 旋转自动更换头部的清扫和加油 (每 1000 小时)
......................................... 96
5.2.10 XY 机械手加油处.......................... 96
5.2.11 L 轴滚珠丝杆 (平台升降器)加油处 ........ 97
5.2.12 电路板夹紧部导轮加油处 .................. 98
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