XPF-L机械手册.pdf - 第87页

MEC-XPF-5.2S 5. 维修保养 XPF 机械手册 75 5.1.4 MTU-A/MTU-A2 的清扫 ( 每日 /24 小时 ) 要点 1. 在 MTU-A/MTU-A2 左侧的料 盘排出槽中,推荐设置料盘回收箱 。 (由用户准备) 2. 请经常保持料盘表面 / 反面的清洁状态。 3. 如果供料器用料站平台上散乱有芯片元件 等时,请除去。 4. 也请清扫废料带箱的里面。 备注 )MTU-A/MTU-A2 的空料盘排出确认传感器…

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5. 维修保养 MEC-XPF-5.2S
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5.1.3 MFU-30/MFU-40 的清扫 ( 每日 /24 小时 )
要点
1. 如果废料带堆积到箱子的一半时,请尽快地清除废料带。
2. 如果表面薄膜堆积到箱子的一半时,请尽快地废弃。
3. 如果供料器用料站平台上散乱有芯片元件等时,请除去。
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MEC-XPF-5.2S 5. 维修保养
XPF 机械手册 75
5.1.4 MTU-A/MTU-A2 的清扫 ( 每日 /24 小时 )
要点
1. MTU-A/MTU-A2 左侧的料盘排出槽中,推荐设置料盘回收箱(由用户准备)
2. 请经常保持料盘表面 / 反面的清洁状态。
3. 如果供料器用料站平台上散乱有芯片元件等时,请除去。
4. 也请清扫废料带箱的里面。
备注 )MTU-A/MTU-A2 的空料盘排出确认传感器的镜头表面有污垢时,请用柔软清洁的布 (擦
眼镜用等擦拭污垢。此外,污垢严重时,请在柔软清洁的布上沾少量的水后擦拭污
垢。
5.1.5 BTU-A 的清扫 ( 每日 /24 小时 )
要点
1. 果把平板料盘安装在 BTU-A/BTU-A2 时,请确认在 LM 轨道附近是否有元件等的异物
落下。如果有落下时请除去。
2. 如果平板料盘用的定位销周围有垃圾和灰尘时请清扫。
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5.1.6 回收极小元件过滤器的清扫 ( /160 小时 )
要点
出现影像处理错误的 1005 以下的极小元件,吸引到 Side 1 的基准轨道侧的回收箱孔中后
收存到过滤器内。从外边看积存到过滤器一半以上时,因为真空压力降低,请紧急地除去过
滤器中的剩余元件。
备注 )环部和耦合器的中间点显示为 「红色」时的状态是锁定状态。拆除过滤器时请将耦合
器的环部向右旋转解除锁定。操作结束后,请返回到锁定状态。
方法
1. 请取下基准侧轨道旁边的废弃中型元件的托盘。
2. 向左面按过滤器左边的耦合器时过滤器脱落。请向右拔出过滤器。
3. 将过滤器的盖帽与碰上 " 逆时针旋转 " 的位置 (约 45°)对齐,拔出盖帽。
4. 请废弃放入其中的芯片。过滤器的污垢严重时,请更换过滤器内的部件 (A40905 (带有
O 型圈)(也请确认 O 型圈损伤)
5. 清扫后,安装部件到盖帽上。
6. 盖帽突出部 (2 处)与过滤器槽部对齐,将盖帽碰到 " 顺时针旋转 " 的位置 (约 45°)
为止进行旋转。(请确认在过滤器窗口部完全可以看到盖帽的突出部。
7. 请确实插入过滤器到耦合器中直到确认发 " 嘎搭 " 声音为止。
8. 请返还废弃中型元件的料盘。
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警告
操作前请务必按下 [ 紧急停止 ] 按钮。
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