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5OM-1513 0908-001 2-A 第二章 元件配置图及传感器 · 负载配置图 本章节就各部的布局及传感器 · 负载配置图进行说明。 因含有一定的难度，参考时请充分注意。
气路图 ( 清洁单元 )
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F4
Change-over Shutter
F6
F6
F6
F6
F6
1/8
1/8 1/8
1/8
Chuck Suction
Y059
Y05A
F6
Downward
Movement
Cleaning Nozzle
Up/Down Movement
F6
F6
Cleaning Suction
F6
1/8
F6
F4
SC2
F6
F6 L1600
Solvent Tank installed
Y57
Y56
F4 L1700
SET
G
G
51
52
54
56
59
57
58
55
53
on the Base
No. Name Q'ty
51 Solenoid Valve Unit 1
52 Speed Controller 2
53 Cylinder 1
54 Speed Controller 4
55 Cylinder 2
56 Regulator 1
57 Vacuum Valve 1
58 Speed Controller 2
59 Pressur Gauge 1
1-6
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第二章
元件配置图及传感器
·
负载配置图
本章节就各部的布局及传感器
·
负载配置图进行说明。
因含有一定的难度，参考时请充分注意。
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