RX-7,RX-7R_InstructionManual_Rev18_C - 第773页
6 第 6 章 附录 6- 1. 故障排除 2 6- 2. 安全重要零件列 表 5 6- 3. 产品安全数据表 7 6- 4. 词汇表 10 6- 5. 空气流动概要图 16
第
5
章
维护篇
5-2. 保养检查
64
5．安装真空泵
1. 将真空泵附着的金属板固定在真空泵支撑架
上。
※需使用固定真空泵金属板的螺丝
2．接上连接器。
6. 安装气源处理器
＜RX-7＞
1. 将固定真空泵金属板的、扣住金属板的 2 处
螺丝拧紧。
2. 在 2 处用螺丝固定支架。
7. 安装护盖
1. 请拧紧 6 处的螺丝，固定左右的护盖。
2. 请打开机器的电源，确认从真空泵未发出异响等。
紧固扭矩
4.4±0.2 Nm
紧固扭矩
4.4±0.2 Nm
安装要压紧固定真空泵的
金属板。
6
第6章 附录
6-1. 故障排除 2
6-2. 安全重要零件列表 5
6-3. 产品安全数据表 7
6-4. 词汇表 10
6-5. 空气流动概要图 16
第
6
章
附录
6-1.
故障排除
2
6-1.
故障排除
症状
可能的原因
应对方法
本机无法启动。
主电源未打开。
打开主电源。
主断路器处于关闭状态。
打开主断路器。
POWER OFF
开关处于按下状态。
(
只限于
RX-7)
按下
POWER ON
开关。
MAIN
开关处于关闭状态。
(
只限于
RX-7R)
打开
MAIN
开关。
电源电缆断线。
更换为正常的电源电缆。
紧急停止开关处于按下状态。
解除紧急停止开关。
本机动作过程中发生
异常。
控制用计算机停止动作
(Freeze)
，
或动作异常。
RX-7
1.
按下紧急停止开关。
2.
在按下
POWER OFF
开关后
5
分钟，按下
POWER ON
开关重
新启动本机。
3.
如果动作没有问题，则解除紧急
停止开关后开始作业。
RX-7
1.
按下紧急停止开关。
2.
按下装置背面界面部的复位开
关。
3.
启动装置后解除紧急停止开关。
4.
菜单画面显示关闭按钮后，执行
关闭。不显示按钮时关闭
MAIN
开关，
5
分钟后关闭主断路器，
等待
5
秒钟后再打开主断路器，
并打开
MAIN
开关，重新启动本
机。
5.
正常启动时开始操作。
需要修理时，请与您购买本机器的销
售公司，或敝公司服务部联系。