RX-7,RX-7R_InstructionManual_Rev18_C - 第78页
第 3 章 导入篇 3- 1. 安装 6 取下固定本机器 后部盖罩的带十字孔的扁头 结合 螺丝 × 8 ，在水平器设 置空间的 X 方向 和 Y 方向 各放 置一个水平器。 (RX - 7R) 2 为了对准本机前工序和后工序的基板搬送高度 ，要用扳手旋转底部 6 个脚（ RX -7 ： 6 个， RX - 7R ： 4 个）的六角螺母来调整基板搬送高度。 向右旋转为上升 ，向左旋转为下降。 注意 • 脚高度调整用六 角螺母的 2 面宽度…
第
3
章 导入篇
3-1. 安装
3
3-1-3. 安装 RX-7/RX-7R
根据导入的安装系统生产线的基板搬送规格，调整本机的基板搬送面和搬送高度。
本机单机的基板搬送规格如下所示。
1
拆下固定本机后部的盖子（护罩）
M4
内六角螺栓
X4
，在水平器安装用空间的
X
方向和
Y
方向上各放
1
个水平器。（
RX-7
）
(a) 水平器
基板传送高度度
基板传送面：本机正面侧的输送带上面
M4×10
内六角螺栓
4
根
900 -10/+30 mm
5
第
3
章 导入篇
3-1.
安装
6
取下固定本机器后部盖罩的带十字孔的扁头结合螺丝×
8
，在水平器设置空间的
X
方向和
Y
方向各放
置一个水平器。
(RX-7R)
2
为了对准本机前工序和后工序的基板搬送高度，要用扳手旋转底部
6
个脚（
RX-7
：
6
个，
RX-7R
：
4
个）的六角螺母来调整基板搬送高度。
向右旋转为上升，向左旋转为下降。
注意
•
脚高度调整用六角螺母的
2
面宽度为
65mm
。
(a)
锁定用螺母
(b)
脚的六角螺母
(c)
脚
3
使用扳手旋转各脚的六角螺母进行微调，以确保
X
轴和
Y
轴的水平器显示的水平度在
0.05mm
以下（
1
刻度为
0.02mm
的水平器为
2
刻度以下，
1
刻度为
0.05mm
的水平器为
1
刻度以下）。
下降
上升
a
第
3
章 导入篇
3-1. 安装
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3-1-4. 取下固定托架
导入本机时，使用六角扳手套件，将固定 XY 轴移动部分的托架，以及固定支撑台的移动部分托架卸下
来。
警告
如果不把固定移动部分的托架全部拆掉，则有造成本机损坏，导致
人身事故的危险性。
切断固定 Z 轴的电缆绑带。(2 处)
切断固定 Z 轴的电缆绑带，请取下 Z 轴上部的气泡包装膜。
请撕下贴片头左侧面的强化纤维胶带。
XY
轴固定用托架（2 处）
将通过支架连接着支柱的 Y 轴移动部分的 4 根六角孔螺栓卸下来，取下托架。
。
(a) X 轴固定用托架（CP 螺栓 M5 × 10）
(b) Y 轴固定用托架（CP 螺栓 M5 × 10）
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