机器设置与安装.pdf - 第57页
MSR 服务手册 4.4 基板 搬送：上载导 轨·下载导轨 D14SCC-W 3-000-A0 4.4-4 4.4.3 搬送导轨平面度的调整 搬送导轨平面 度的调整 搬送导轨平面 度的调整 搬送导轨平面 度的调整 相关 Unit No. 搬送 导轨 平面度的 调 整 = 准备 准备 准备 准备 = 1. 百分表 2. 磁性表架 ► 搬送导轨间的级差的调整 搬送导轨间的级差的调整 搬送导轨间的级差的调整 搬送导轨间的级差的调整 1. 打开…
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服务手册
4.4 基板搬送：上载导轨·下载导轨
4.4-3 D14SCC-W3-000-A0
10. 确认XY工作台与上载导轨、下载导轨间的固定
导轨的级差。
=规格值
规格值规格值
规格值=
级差：0.3mm以内
=确认
确认确认
确认=
请确认下游侧处于较低位置。
11. 再次确认XY工作台与上载导轨、下载导轨间的
可动导轨的级差。
偏心
销
XY
工作台
下
载导轨
下
载导轨
0.3mm
以内
标尺
皮
带
（级差）
上载导轨、下载导轨轨道
下
载导轨
螺栓
偏心
销
、
锁紧
螺母
0.3mm
以内
XY
工作台
标尺
MSR
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4.4 基板搬送：上载导轨·下载导轨
D14SCC-W3-000-A0 4.4-4
4.4.3 搬送导轨平面度的调整
搬送导轨平面度的调整搬送导轨平面度的调整
搬送导轨平面度的调整
相关Unit No.
搬送导轨平面度的调整
=准备
准备准备
准备=
1. 百分表
2. 磁性表架
►搬送导轨间的级差的调整
搬送导轨间的级差的调整搬送导轨间的级差的调整
搬送导轨间的级差的调整
1. 打开电源，进行返回原点。
2. 将磁性表架设置于XY工作台，将百分表针置于可动
导轨搬送皮带上面的A处。
3. 将百分表置零（基准）。
4. 使用XY工作台，将百分表移动至A~D的位置。
5. 确认平面度。
=规格值
规格值规格值
规格值=
平面度：0.1mm以内
6. 在规格值之外时，旋松上载导轨固定螺栓（6根）、
下载导轨固定螺栓（6根）。
7. 旋松偏心销的锁紧螺母。
8. 用偏心销调整平面度。
9. 旋紧锁紧螺母。
10. 旋紧上载导轨固定螺栓、下载导轨固定螺栓。
A
B
A
B
CD C D
XY
工作台
下
载导轨
上
载导轨
可
动导轨
固定
导轨
MSR
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4.5 下部定位
4.5-1 D14SCC-W4-000-A0
4.5 下部定位
下部定位下部定位
下部定位
Sentence No. D14SCC-W4-000-A0
4.5.1 XY-T轴原点高度的调整
轴原点高度的调整轴原点高度的调整
轴原点高度的调整
相关 Unit No.
1080709400
XY-T
轴原点高度的调整
=准备
准备准备
准备=
1. 块规（190.8mm）
2. 块规（1.6mm）
3. 百分表
4. 磁性表架
►XY-T轴原点高度的调整
轴原点高度的调整轴原点高度的调整
轴原点高度的调整
1. 进行原点返回。
2. 使支撑板上升。
3.
确认XY-T轴AC伺服电动机Z相的在原点上，并开动
制动器。
4. 将块规（190.8mm）设置于架台。
5. 将磁性表架安装到架台上，使百分表针置于块规的上面。
6. 将百分表置零。
7. 在调谐传动的控制杆与平行销之间设置块规（1.6mm）。
8. 使百分表移动至导轨，检查块规上面与导轨间的级差。
=规格值
规格值规格值
规格值=
级差：±0.05mm以内
=参考
参考参考
参考=
基本上不调整XY-T轴的杆的长度。
9. 在规格值之外时旋松机械锁（8个）进行调整。
10. 旋松机械锁后进行XY-T轴原点的调整。
11. 再次确认级差。
XY-T
轴原点传
感器
机器右侧面（
XL
尺寸）
百分表
架台
块规
（
190.8mm
）
导轨