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1 - 58 081 1-002 4.6 线传感器的清扫 为使元件厚度计测的可靠性稳定并持续，请定期实施线传感器的清扫。 • 请每天清扫。 • 根据使用频率和周围环境等，必要时请改变清扫频率。 Fig.4A55 • 清扫投光器时，请横向轻轻擦拭圆锥反射镜的表面。 Notice 纵向擦拭，有可能损坏圆锥盖。 使用损坏的圆锥盖，有时无法正常进行元件识别。 4.6 线传感器的清扫 注意 线传感器的投光器是玻璃制的。 万一损坏投光器时，请务必使…
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(7) 确认注油口，用棉棒将旧的润滑油擦掉。
Fig.4A54-5
(8) 将切割器单元对齐到左侧原点位置。
请移动到左侧原点位置。
(9) 安装机盖，拧紧 4 个螺丝。
(10) 安装料带引导槽，拧紧 4 个螺丝。
(11) 安装下盖。
(12) 安装上盖。
(13) 请按照与 (1) ～ (12) 同样的步骤在余下的切割器单元进行注油。
4.5 直线导轨注油口的注油步骤
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注油嘴
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0811-002
4.6 线传感器的清扫
为使元件厚度计测的可靠性稳定并持续，请定期实施线传感器的清扫。
•
请每天清扫。
•
根据使用频率和周围环境等，必要时请改变清扫频率。
Fig.4A55
•
清扫投光器时，请横向轻轻擦拭圆锥反射镜的表面。
Notice
纵向擦拭，有可能损坏圆锥盖。
使用损坏的圆锥盖，有时无法正常进行元件识别。
4.6 线传感器的清扫
注意
线传感器的投光器是玻璃制的。
万一损坏投光器时，请务必使用吸尘器回收碎片。
如果用赤手回收碎片，手或手指就有可能受伤。
线传感器(受光器)
线传感器(投光器)
横向
圆锥盖
圆锥反射镜的
表面
线传感器(投光器)
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4.6 线传感器的清扫
准备物品
(1) 镜头布
( 配件 )
(2) 棉棒
(3) 无水乙醇 : 建议 C
2
H
6
O 99.5vol/%( 高纯度的 )
清扫步骤
(1) 按“调整和维护”菜单的 [ 定期维护 ] 子菜单的 [ 传感器 ( 线传感
器 ) 清扫 ] 按钮，显示“传感器 ( 线传感器 ) 清扫”界面。
Fig.4A56 “传感器 ( 线传感器 ) 清扫”界面
(2) 选择进行线传感器清扫的安装头。
(3) 按 [ 吸嘴收纳 ] 按钮，将吸嘴收纳在吸嘴贮备器。
(4) 按相应工作台的准备完了开关，灭开关灯。
开闭门锁定被解除。