4OM-1434-004_w.pdf - 第124页
• 故障处理的说明 • 警告 ( 启动向导 ) • 装置情报 • 关于异常显示界面 2-A 第二章 故障处理 本章节说明各故障处理的概要。 0710-001

1-68
Table 4A16
Note
(a) 建议年数为参考值。
(b) 请不要再利用维护保养时拆卸的螺栓。
0805-002
5.2 重要保修品列表
品名 元件编号模块名 元件名 立体分解图
备注
使用数
建议年数
Note(a)
主机部
搬送部
触摸面板
真空泵
搬运滑车
搬运滑车
搬运带
搬运带
CPU1
硬盘

•
故障处理的说明
•
警告 ( 启动向导 )
•
装置情报
•
关于异常显示界面
2-A
第二章
故障处理
本章节说明各故障处理的概要。
0710-001

2-B0710-001