DECAN_S2_Admin(Chi_Ver4.5) - 第380页
14-22 Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s G ui de 4. 自动执行 Calibration 后, 结束校正则如下图显示结果值。 要适 用 新 的校正值 请点击 < 更新 > 按钮 。 5. 每个悬臂使用 2 个基 准 相机 时, 单击 <3. Other Fid. Camera Scale> 键后按照 同一方法实行校准 (Calibration…

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Machine Calibration
<2. Ref. Fid. Camera Scale(3. Other Fid. Camera Scale)> 按钮
为校正基准相机的Scale(um/pixel)和Rotation(deg)没有预先需要执行的校正。
下面是基准相机的校正步骤
1. 请点击<标准菜单>领域的 <2. Ref. Fid. Camera Scale> 按钮 。
2. 点击<2. Ref. Fid. Camera Scale>按钮则在消息窗显示 “在ANC中设置调整工
具到特别工具位置. 点击 [下一步]移开。”消息。为了把 基准相机移动到
ANC的 Fiducial Mark位置,请点击 <下个>按钮。 这时,前面ANC的校正
Too1位置上放置校正Too1后,为了把基准相机移动到前面ANC的校正Too1
位置,请按<下个>按钮。
3. 显示”准备标准。对于标准,点击[下一步]”消息。此时,点击 <亮度> 后在 “
亮度控制”对话框中使’SMVision’窗口显示的Fiducial Mark明显调整照明的
亮度后请点击<下个> 按钮。

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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
4. 自动执行 Calibration后,结束校正则如下图显示结果值。要适用新的校正值
请点击<更新>按钮。
5. 每个悬臂使用2个基准相机时,单击<3. Other Fid. Camera Scale>键后按照
同一方法实行校准(Calibration)。
备 注 基准相机的校正基准值如下
基准相机 (FOV 7.5)
ScaleX:13.0 ~ 17.0(μm/pixel)
ScaleY: 13.0 ~ 17.0(μm/pixel)
ScaleR: -0.5 ~ 0.5(deg)

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Machine Calibration
14.3.4. Common XY Calibration
使两个拱架之间的坐标系互相一致的过程。不正确时将导致拱架1F 与拱架1R之间
出现偏差,对贴片精度造成影响,甚至引起拱架碰撞。
图
14.8 “Gantry-to-Gantry Common XY’
对话框
<自动下一步> 复选框
选择此选择框后点击<下个>按钮自动执行各Gantry间坐标系一致化的过程。
<手动> 复选框
使用Teaching Box把各Gantry移动到指定的位置后手动执行各Gantry间坐标系
的一致化过程。
<测试专用> 选择框
选定后进行校准,将不储存结果而只显示该值。因此可以与之前数据作比较后,
检查当前设备的变化状态。
<Device> 组合框
请选择想要移动的基准相机。
<Move> 按钮
移动选定Gatry的基准相机。
警 告 由于非指定或未经培训的操作人员错误操作设备,或校正前没有
进行全部检查,可能导致设备发生严重损伤,设置的数据被严重
破坏,而且造成操作人员和设备附近其他人员受伤。
校正前一定要检查要校正的项目并确认设备周围是否有任何其
他工作人员。
校正只能由指定的受过培训的人员进行。