DECAN_S2_Admin(Chi_Ver4.5) - 第417页

14-59 Machine Calibration X:-0.06mm~0.06mm, Y : -0.05mm~0.05mm  Head 12 X:-15.06mm~-14.94mm, Y : -0.05mm~0.05mm  Head 13 X:-30.06mm~-29.94mm, Y : -0.05mm~0.05mm  Head 14 X:-45.06mm~-44.94mm, Y : -0.05mm~0.05mm  Head …

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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
备 注
Head XY Offset Calibration 基准值如下。
Head 1
X:-0.06mm~0.06mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 2
X:14.94mm~15.06mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 3
X:29.94mm~30.06mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 4
X:44.94mm~45.06mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 5
X:59.94mm~60.06mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 6
X:74.94mm~75.06mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 7
X:89.94mm~90.06mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 8
X:104.94mm~105.06mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 9
X:119.94
mm~120.06mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 10
X:134.94mm~135.06mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 11
14-59
Machine Calibration
X:-0.06mm~0.06mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 12
X:-15.06mm~-14.94mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 13
X:-30.06mm~-29.94mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 14
X:-45.06mm~-44.94mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 15
X:-60.06mm~-59.94mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 16
X:-75.06mm~-74.94mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 17
X:-90.06mm~-89.94mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 18
X:-105.06mm~-104.94mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 19
X:-120.06mm~-1
19.94mm, Y: -0.05mm~0.05mm
Head 20
X:-135.06mm~-134.94mm, Y: -0.05mm~0.05mm
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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
14.3.10.5. Fly Camera Scale Calibration
测量飞行相机的标度(Scale)。为了执行飞行相机的标度校正作业之前首先要确认校
正 Tool是否在ANC的校正 Tool处。
下面是 Fly-Camera Scale Calibration的校正步骤。
1. 点击<准备吸嘴>按钮，在ANC 1号孔中插入CN400吸嘴。
2. 选择<自动下一步> 校验框后，点击<10. Fly Camera Scale> 按钮，则对选择的
Gantry自动执行校正。
选择<没有实际运动（手动）> 校验框后，执行校正会在各Head手动插入吸嘴，
并点击<下个>进入下一个阶段。
不选<自动下一步> 或<没有实际运动（手动）>中的任何校验框的状态下执行
校正时，虽然对当前被选的Head自动更换吸嘴，但要点击<下个>按钮才能执行
下一个阶段。
点击<10. Fly Camera Scale>按钮则显示”首先，我们必须把所有吸嘴手动离开朝
向。将Z轴调制低处，点击[下一步]”消息。为了手动除去所有贴装在磁头的吸
嘴，拉下磁头的Z轴请点击 <下个> 按钮。
3. 那么，磁头组件（Head Assembly）移动到设备指定的位置后，下降所有 Z轴。此
时，请手动除去所有已安装的吸嘴。
4. 显示”下一步，将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后，手动
粘贴工具到首部。” 消息。在磁头1的吸嘴支架上手动安装CN400吸嘴后请点击
<下个>按钮。
5. 显示 “移动到中心位置工具摄像移动，点击[下一步]” 消息。为了把Head
Assembly移动到ANC上的Calibrratio
n Tool位置，请点击<下个>按钮
。
6. 示”排列高度上升，镜像关闭。移动，点击[下一步]”消息。请点击 <下个>按
钮。