DECAN_S2_Admin(Chi_Ver4.5) - 第420页
14-62 Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s G ui de 1 1. 显示 ” 下一步 , 把 校 校正 工具从 H1 取下 , 点击 [ 下一步 ] 头将向下移动。 移动后 , 用手取下工具。 ” 消息。 为了在磁头 1 号的吸嘴支架手动除去 CN400 吸嘴请点击 < 下个 > 按 钮。 12. 请按照对 Fly Camera1 的校正方法， 同样 地从 Fl…
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Machine Calibration
7. 那么，磁头1上升到飞行相机的Align高度，关闭 Mirror。 然后在消息窗显示”准
备标准。
8. 对于标准，点击[下一步].” 消息。此时在 <目标摄像>组合框中选择”飞行相机
1”点击 <亮度>按钮，在” 亮度控制”对话框中SMVison显示的Calibration Tool上
的 Fiducial Mark明显为止调整照明亮度后点击<下个>按钮。
9. 校正是：用飞行相机识别校正 Tool底面的Fiducial Mark 2点后，校正 Tool放到
ANC顶面的校正 Tool位置，之后识别校正 Tool上面的边缘Fiducial Mark 2点。
10. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击<下个>按
钮。
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Advanced Chip Shooter DECAN S2 Administrator’s Guide
11. 显示”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去CN400吸嘴请点击
<下个> 按钮。
12. 请按照对Fly Camera1的校正方法，同样地从Fly Camera2~ 10执行校正。 对所有
飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值请点击<
确定>按钮。
13. 显示” 下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请
点击 <下个> 按钮。
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Machine Calibration
备 注 飞行相机的校正基准值为如下
FOV 25 (MEGA)
ScaleX: 22.85~23.81 (μm/pixel)
ScaleY: 22.85~23.81 (μm/pixel)