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51 Key No. P AR T No. P AR T NAME Q’ty REMARKS NOTE MODEL TDM-3500E-2 0209-001 3-3 1 630 064 4715 FRAME 1 687J--02B-102 2 630 064 5835 P L A T E 1 687J--02B-128 3 4 1 1 1 41 4 0 0 8 WASHER V 4X9X0.8 2 FW4 4 4 1 1 1 41 29…

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MODEL TDM-3500E-2
0209-001
50
XYテーブル部 XY TABLE SECTION
Fig. 3-3 バックアップベース Back-up Base
93
97-1
97-2
97-3
91
94
95
96
43
42
41
18
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45
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59
18
17-1
16
10
9
11
12
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26
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17
6
18
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33
85
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6
2
3
4
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15
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8
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58
17
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84
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81
17-1
19
20
87
89
88
A
A
C
C
86
60
77
78
79
76
62
75
62
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65
65
69
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66
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32
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34
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36
37
35
36
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40
39
38
40
39
38
78-1
80-3
80-2
80-1
98
51
21
21-1
24
24
H
H
B
B
Fig.3-3
TDM-3500E-2
POSITIONING PIN P1
(VARIANT)
POSITIONING PIN Q1
(VARIANT)
POSITIONING PIN P1,Q1
( H,H)
Note 1. When ordering for "POSITIONING PIN P1,Q1"
notify the pin sizes or their mating hole size
(
H,H).
51
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
MODEL TDM-3500E-2
0209-001
3-3
1 630 064 4715 FRAME 1 687J--02B-102
2 630 064 5835 PLATE 1 687J--02B-128
3 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 2 FW4
4 411 141 2905 WASHER SPR 4 2 SW4
5 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 2 M4X10
6 630 065 8996 MECH PARTS(SCREW STOPPERS 4 687J--02H-105
8 630 064 5804 PLATE 1 687J--02B-125
9 630 000 0252 SENSOR,PHOTO 2 PHS28,PHS29 687J--02H-071
10 630 000 0269 SENSOR,PHOTO(CONNECTOR) 2 687J--02H-075
11 411 088 9005 WASHER F 3X6X0.5 4 FWS3 F
12 411 086 4408 WASHER SPR 3 4 SW3 F
13 411 040 6202 SCR PAN 3X10 4 M3X10 PAN
14 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 2 FW4
15 411 141 2905 WASHER SPR 4 2 SW4
16 630 000 7633 BOLT,HEX-SCT 2 M4X12
17 630 061 2745 GUIDE,LINEAR 2 687J--02H-130
17 -1 630 054 9034 GUIDE,LINEAR 2 687J--02H-108
18 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 16 FW3
19 411 141 2806 WASHER SPR 3 16 SW3
20 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 16 M3X10
21 630 064 5767 PLATE 1 687J--02B-088
21 -1 630 064 5774 PLATE 1 687J--02B-089
24 630 000 7633 BOLT,HEX-SCT 4 M4X12
26 630 066 9084 BRACKET 1 687J--02B-201
27 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 2 FW4
28 411 141 2905 WASHER SPR 4 2 SW4
29 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 2 M4X10
31 630 064 5545 BRACKET 1 687J--02B-090
31 -1 630 064 5552 BRACKET 1 687J--02B-091
32 630 064 5781 PLATE 2 687J--02B-092
33 630 032 5287 SENSOR,PHOTO 2 PHS38,PHS39 687J--02H-072
34 630 000 0269 SENSOR,PHOTO(CONNECTOR) 2 687J--02H-075
35 411 119 1909 WASHER V 3X7X0.5 4 FW3 F
36 411 086 4408 WASHER SPR 3 4 SW3 F
37 411 040 6202 SCR PAN 3X10 4 M3X10 PAN
38 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 4 FW4
39 411 141 2905 WASHER SPR 4 4 SW4
40 630 000 7633 BOLT,HEX-SCT 4 M4X12
41 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 16 FW4
42 411 141 2905 WASHER SPR 4 16 SW4
43 630 000 7657 BOLT,HEX-SCT 16 M4X16
44 411 141 4305 WASHER V 6X12.5X1.6 4 FW6
45 411 141 3001 WASHER SPR 6 4 SW6
46 630 000 7909 BOLT,HEX-SCT 4 M6X25
51 630 064 5354 BASE 1 687J--02B-101
58 630 065 2543 PIN,LOCATE 1 687J--02B-139
59 630 008 1213 BOLT,HEX-SCT 1 687J--02H-114
60 630 071 1639 ASSY,LEVER 1
61 630 069 4222 BLOCK 1 687J--02B-131
62 630 001 1609 BEARING,RADIAL 2 687J--02H-110
MODEL TDM-3500E-2
0209-001
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
52
3-3
63 630 064 8096 SHAFT 1 687J--02B-134
64 630 066 9046 PLATE 1 687J--02B-135
65 630 001 1609 BEARING,RADIAL 2 687J--02H-110
66 630 066 9220 COLLAR 1 687J--02B-217
67 630 066 9237 ROLLER 1 687J--02B-218
67 -1 630 066 8179 BEARING,RADIAL 1 687J--02H-201
68 630 066 9213 BOLT,HEX 1 687J--02B-216
69 630 058 3458 SPRING,TORSION 1 687J--02B-136
70 630 054 8884 SHAFT 1 687J--02B-137
71 630 054 8907 PLATE 1 687J--02B-138
72 411 141 0109 NUT HEX 3 1 M3-3
73 630 000 7558 BOLT,HEX-SCT 1 M3X16
74 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 1 M3X10
75 630 058 9061 COLLAR 1 687J--02B-156
76 630 087 3535 PLATE 1 687J--02B-133
77 630 042 2955 SPRING,TORSION 1 687J--02B-132
78 411 141 4107 WASHER V 5X10X1 1 FW5
78 -1 411 001 0003 RING E 4 1 687J--02H-129
79 630 000 7510 BOLT,HEX-SCT 1 M3X8
80 -1 630 074 2442 NUT 1 687J--02B-221
80 -2 630 066 9091 COLLAR 1 687J--02B-202
80 -3 630 000 7848 BOLT,HEX-SCT 1 687J--02H-202
81 630 064 6214 PLATE,LOCATE 1 687J--02B-151
82 630 064 6221 PLATE,LOCATE 1 687J--02B-152
83 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 4 FW3
84 411 141 2806 WASHER SPR 3 4 SW3
85 630 000 7527 BOLT,HEX-SCT 4 M3X10
86 630 066 9077 GUIDE 1 687J--02B-153
87 411 141 4107 WASHER V 5X10X1 2 FW5
88 411 141 6705 WASHER SPR 5 2 SW5
89 630 000 7763 BOLT,HEX-SCT 2 M5X16
91 630 069 4208 PLATE 1 687J--02B-149
91 -1 630 069 4215 PLATE 1 687J--02B-150
94 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 2 FW3
95 411 141 2806 WASHER SPR 3 2 SW3
96 411 141 0109 NUT HEX 3 2 M3-3
97 -1 630 074 2442 NUT 2 687J--02B-221
97 -2 630 066 9091 COLLAR 2 687J--02B-202
97 -3 630 000 7848 BOLT,HEX-SCT 2 687J--02H-202
98 630 069 3607 ROD 20 687UR-01R-001