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Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE 10 5 Aufstellen und Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .257 5.1 Abmessungen und G…

Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Inhalt

Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE

4.1.3 Basic-Die-Presentation-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 201

4.1.3.1 Flip-Chip-Prozess. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 202

4.1.3.2 Die-Attach-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203

4.1.3.3 Die-Erkennung und -Positionierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 204

4.1.3.4 Ausstechvorgang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 204

4.1.3.5 Pickup-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 205

4.1.4 Embedded Wafer Level Ballgrid Array (eWLB/WLFO) Prozess. . . . . . . . . . . . . . 205

4.1.5 Pick & Transferprozess im Detail . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 207

4.1.5.1 Flip Chip Segment 1 (Pipette) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 207

4.1.5.2 Flip Chip Segment 1 (Z-Richtung) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 208

4.1.5.3 Die-Attach - Transferposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 209

4.1.5.4 Flip Chip codierte Positionen (nach dem Kalibrieren) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 210

4.2 Baugruppenübersichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 213

4.3 Beschreibung der SWS-Baugruppen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 216

4.3.1 Versorgungseinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 216

4.3.2 Flip-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 217

4.3.3 Wafer-Kamera-System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 219

4.3.4 Wafer-Tisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 219

4.3.4.1 Wafer-Aufnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 221

4.3.5 Die-Ejector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 222

4.3.6 Ausstech-Tool . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 225

4.3.7 Wafer-Wechsler-System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 226

4.3.7.1 Magazin-Lift . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 228

4.3.7.2 Wafer-Wechsler . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 229

4.4 Optionale Komponenten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 231

4.4.1 Linear-Dipping-Unit (LDU) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 231

4.4.2 Die-Attach-Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 232

4.4.3 Small-Die-Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233

4.4.4 Wafer-Map-System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233

4.4.5 Barcodescanner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233

4.4.5.1 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 234

4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .235

4.5.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 236

4.5.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 237

4.5.3 Bestückgenauigkeit und Leistungswerte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 237

4.5.4 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 238

4.5.5 Dehnfaktor mechanisch einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239

4.5.5.1 Vorbereitungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239

4.5.5.2 Einstellungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 240

4.5.6 Framebreite bei 8" Waferaufnahme einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 241

4.5.6.1 Vorbereitungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 241

4.5.6.2 Einstellungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 242

4.5.7 Waferaufnahme umbauen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 243

4.5.7.1 Teile aus Nachrüstsatz 12" Wafer Expander . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 244

4.5.7.2 Vorbereitungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 245

4.5.7.3 Ausbau der 8" Waferaufnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 246

4.5.7.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 256

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5 Aufstellen und Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .257

5.1 Abmessungen und Gewicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .257

5.2 Anlieferungskonfiguration und Transport des Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .257

5.2.1 Transportverpackung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 257

5.2.1.1 Abmessungen der Transportverpackung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 257

5.2.1.2 Gewicht des versandfertigen Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 258

5.2.2 Anlieferungskonfiguration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 258

5.2.3 Den Bestückautomaten in der Transportkiste transportieren . . . . . . . . . . . . . . . . 260

5.2.3.1 Dienstleistungsangebot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 260

5.2.3.2 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 260

5.2.3.3 Transportmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 260

5.2.3.4 Ansatzpunkte des Gabelstaplers an der Transportkiste bzw. Palette . . . . . . . . . 261

5.2.4 Den Bestückautomaten ohne Transportkiste oder Palette transportieren . . . . . . 261

5.2.4.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 261

5.2.4.2 Transportmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 262

5.2.4.3 Ansatzpunkte des Gabelstaplers am Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 262

5.2.4.4 Was Sie beim Transport unbedingt beachten sollten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 265

5.3 Anlieferungskonfiguration und Transport des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .266

5.3.1 Transportverpackung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 266

5.3.1.1 Abmessungen der Transportverpackung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 266

5.3.1.2 Gewicht des versandfertigen Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 266

5.3.2 Das SWS in der Transportkiste transportieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 267

5.3.2.1 Dienstleistungsangebot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 267

5.3.2.2 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 267

5.3.2.3 Transportmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 267

5.3.3 Das SWS ohne Transportkiste oder Palette transportieren . . . . . . . . . . . . . . . . . 268

5.3.3.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 268

5.3.3.2 Transportmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 268

5.3.3.3 Ansatzpunkte des Gabelstaplers am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 269

5.3.3.4 Was Sie beim Transport des SWS unbedingt beachten sollten . . . . . . . . . . . . . . 269

5.4 Infrastruktur des Aufstellungsorts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 270

5.4.1 Empfehlungen zur Untergrundbeschaffenheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 270

5.4.1.1 Maschinengewicht und Bodenbelastbarkeit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 270

5.4.1.2 Schwingungsgrenzwerte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 270

5.4.2 Druckluftversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 271

5.4.2.1 Druckluftversorgung überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 271

5.4.2.2 Druckluftanschluss am Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 272

5.4.3 Druckluftversorgung am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 273

5.4.4 Netzversorgung des Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 273

5.4.4.1 Gefahrenhinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 274

5.4.4.2 Netzversorgung überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 274

5.4.4.3 Netzversorgungskabel - Spezifikation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 274

5.4.4.4 Netzversorgungskabel anschließen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 276

5.4.4.5 Brücken für die Einschaltstrombegrenzung überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 277

5.5 Den Bestückautomaten aufstellen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .279

5.5.1 Leiterplatten-Transporthöhen des Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 279

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5.5.2 Warnhinweise. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 279

5.5.3 Werkzeuge und Hilfsmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 280

5.5.4 Leiterplatten-Transporthöhe voreinstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 281

5.5.4.1 Höhe der mittleren Maschinenfüße voreinstellen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 285

5.5.4.2 Höhe der äußeren Maschinenfüße voreinstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 287

5.5.5 Anbausätze an den Maschinenrahmen montieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 289

5.5.5.1 Anbausatz an der LP-Ausgabeseite montieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 289

5.5.5.2 Anbausatz an der LP-Eingabeseite montieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 289

5.5.6 Ausgabetransport montieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 290

5.5.6.1 Werkzeuge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 290

5.5.6.2 Montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 290

5.5.7 Anbausatz an der LP-Ausgabeseite montieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 291

5.5.7.1 Werkzeuge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 291

5.5.7.2 Montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 292

5.5.7.3 Führung der Sechskantwelle befestigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 295

5.5.7.4 Kabelverbindungen herstellen - Anbausatz an der LP-Ausgabeseite . . . . . . . . . 295

5.5.7.5 Erdungskabel für die Türen montieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 296

5.5.7.6 Schutzhaubenschalter überprüfen und einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 296

5.5.7.7 Eingreifschutzblech "unten" installieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 297

5.5.8 Achseinschub an der CA4 installieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 298

5.5.8.1 Achseinschub CA4 (Portale 2 und 3) - elektrische Anschlussstellen. . . . . . . . . . 298

5.5.8.2 Achseinschub CA4 (Portale 2 und 3) - Stecker anschließen . . . . . . . . . . . . . . . . 299

5.5.8.3 Achseinschub montieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 300

5.5.8.4 Seitenbleche montieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 300

5.5.9 Eingabetransport montieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 301

5.5.9.1 Werkzeuge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 301

5.5.9.2 Montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 301

5.5.10 Anbausatz an der LP-Eingabeseite montieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 303

5.5.10.1 Werkzeuge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 303

5.5.10.2 Montage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 303

5.5.10.3 Führung der Sechskantwelle befestigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 306

5.5.10.4 Kabelverbindungen herstellen - Anbausatz an der LP-Eingabeseite. . . . . . . . . . 306

5.5.10.5 Erdungskabel für die Türen montieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 307

5.5.10.6 Schutzhaubenschalter überprüfen und einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 307

5.5.10.7 Eingreifschutzblech "unten" installieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 308

5.5.11 Box-PC Einschub an der CA4 installieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 308

5.5.11.1 Box-PC Einschub - elektrische Anschlussstellen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 309

5.5.11.2 Box-PC Einschub der CA4 - Steckverbindungen an der Frontseite. . . . . . . . . . . 311

5.5.11.3 Box-PC Einschub der CA4 - Steckverbindungen an der Rückseite . . . . . . . . . . . 312

5.5.11.4 Box-PC-Einschub montieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 312

5.5.11.5 Seitenbleche montieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 313

5.5.12 Computereinschub der CA4 installieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 314

5.5.12.1 Computereinschub - elektrische Anschlussstellen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 314

5.5.12.2 Computereinschub der CA4 - Steckverbindungen an der Frontseite. . . . . . . . . . 316

5.5.12.3 Computereinschub der CA4 - Steckverbindungen an der Rückseite . . . . . . . . . . 317

5.5.12.4 Computereinschub montieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 317

5.5.12.5 Seitenbleche montieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 318

5.5.13 Achseinschub an der CA4 installieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 319

5.5.13.1 Achseinschub CA4 (Portal 1 und Portal 4) - elektrische Anschlussstellen. . . . . . 319

5.5.13.2 Achseinschub CA4 (Portal 1 und Portal 4) - Stecker anschließen. . . . . . . . . . . . 320

5.5.13.3 Achseinschub CA4 (Portal 1 und Portal 4) montieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 321

5.5.13.4 Seitenbleche montieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 321

5.5.14 Hauptstöranzeigen montieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 321