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4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitu ng SIPLACE CA-Serie 4.2 Baugruppenübersichten Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 214 4 Abb. 4.2 - 2 V ersorgungseinheit des SWS von vorne 4 (1) Elektroeinschub vorne …
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.2 Baugruppenübersichten
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4.2 Baugruppenübersichten
4
Abb. 4.2 - 1 Übersicht SWS
4
(1) Greifer (2) Flip-Unit
(3) Einbauplatz für Optionen (Die-Attach Unit
oder Linear Dipping Unit)
(4) Die-Ejector
(5) Versorgungseinheit (6) XY-Unit
(7) Magazin-Lift
1
2
3
4
5
6
7
4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.2 Baugruppenübersichten Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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4
Abb. 4.2 - 2 Versorgungseinheit des SWS von vorne
4
(1) Elektroeinschub vorne (2) Computereinheit
(3) Trafo (4) Druckschalter
(5) Netzfilter (6) Magnetventil
(7) Abdeckung
3
2
1
7
6
5
4
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.2 Baugruppenübersichten
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4
Abb. 4.2 - 3 Baugruppenübersicht des SWS
(1) Klemmeinheit (2) Wafer-Kamera
(3) Flip-Unit (4) Wafer-Aufnahme
(5) Führung
4
3
1
2
5