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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher 241 4.5.6 Framebreite bei 8" W aferaufnahme einstellen Bei den 8" W af…

4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie

4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014

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4.5.5.2 Einstellungen

Abb. 4.5 - 4 SIPLACE SWS Wafer Stretcher - Dehnfaktor einstellen

 Lösen Sie an den vier Positionen (1) die Schraube (2).

 Schieben Sie die Schraube (2) an die Position mit dem jeweiligen Stretchfaktor (2, 4, 6, oder

8 mm).

 Ziehen Sie die Schraube (2) fest.

 Drehen Sie an den beiden Positionen (3) die Schraube in die Position mit dem jeweiligen

Stretchfaktor (2, 4, 6, oder 8 mm).

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Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher

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4.5.6 Framebreite bei 8" Waferaufnahme einstellen

Bei den 8" Waferaufnahmen muss die Breite des Wafers eingestellt werden. Bei 12" Waferaufnah-

men ist das nicht nötig.

Es können Wafer mit einer Beite von 10,5" (FF 105) oder 10,8" (FF 108) verarbeitet werden. Je

nach Breite müssen Sie mechanische Einstellungen an sieben Positionen vornehmen.

4.5.6.1 Vorbereitungen

 Beenden Sie alle laufenden Vorgänge am SWS-Modul.

 Fahren Sie den Wafer-Tisch in die Wechselposition.

 Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wech-

selposition anfahren.

 Öffnen Sie die Klemmung.

 Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wa-

fer-Klemmung öffnen.

– Die Klemmung wird geöffnet und der Expansionsring wird nach unten gefahren.

 Öffnen Sie den Expander

 Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Ex-

pander loslassen.

– Das Niederhalter-Blech wird nach oben gefahren.

 Wählen Sie in der Ansicht Produktion -> Sonstiges und betätigen Sie dort den roten Aus-

schalt-Button.

SWS GUI und Linux werden ordnungsgemäß beendet. 4

 Schalten Sie das SWS am Hauptschalter aus.

VORSICHT

Beschädigungen am Greifer vermeiden

Beim Arbeiten an der Waferaufnahme kann der Greifer beschädigt werden.

 Schieben Sie den Greifer in Richtung Wafer-Lift und aus dem Arbeitsbereich der Wa-

feraufnahme.

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4.5.6.2 Einstellungen

Abb. 4.5 - 5 Wafer-Aufnahme - Framebreite einstellen

 Entfernen Sie an den vier Positionen (1) die Schrauben und montieren diese in die ge-

wünschte Position (FF105 oder FF 108).

 Entfernen Sie an der Position (2) die Schraube und montieren diese in die gewünschte Posi-

tion (FF105 oder FF 108).

 Lösen Sie an der Position (3) die Schraube und bringen diese in die gewünschte Position

(FF105 oder FF 108).

 Entfernen Sie an der Position (4) die Schraube und montieren diese in die gewünschte Posi-

tion (FF105 oder FF 108).