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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher 243 4.5.7 W aferaufnahme u mbauen Um verschiedenen W afergrößen (8" und 12&…
4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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4.5.6.2 Einstellungen
Abb. 4.5 - 5 Wafer-Aufnahme - Framebreite einstellen
Entfernen Sie an den vier Positionen (1) die Schrauben und montieren diese in die ge-
wünschte Position (FF105 oder FF 108).
Entfernen Sie an der Position (2) die Schraube und montieren diese in die gewünschte Posi-
tion (FF105 oder FF 108).
Lösen Sie an der Position (3) die Schraube und bringen diese in die gewünschte Position
(FF105 oder FF 108).
Entfernen Sie an der Position (4) die Schraube und montieren diese in die gewünschte Posi-
tion (FF105 oder FF 108).
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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher
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4.5.7 Waferaufnahme umbauen
Um verschiedenen Wafergrößen (8" und 12") am SIPLACE SWS Wafer Stretcher benutzen zu
können, müssen Sie den SIPLACE SWS Wafer Stretcher umbauen.
Sie können den SIPLACE SWS Wafer Stretcher auf die folgende Weise bestellen:
– 00519717-xx 12 inch Wafer Expander
und optional 4
– 03079734-xx 8 inch Retrofit Kit
oder
– 00519719-xx 8 inch Wafer Expander
und optional 4
– 00519720-xx 12 inch Retrofit Kit
Die nachfolgende Anleitung beschreibt den Wechsel von 8" auf eine 12" Waferaufnahme (siehe
auch “Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8” auf Seite 256).
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4.5.7.1 Teile aus Nachrüstsatz 12" Wafer Expander
Abb. 4.5 - 6 Teile Nachrüstsatz 12" Waferaufnahme
(1) Montagewinkel für Sensor 1 (inkl. 2 Stk. M3x6 Schrauben)
(2) Montagewinkel für Sensor 2 (inkl. 2 Stk. M3x6 Schrauben)
(3) Klotz mit Befestigungsschrauben für Klemmung
(4) Hilfstool zur Fixierung der Hubkolben, [Artikel-Nr. 03121551-xx] wird beigelegt und ist zukünf-
tig in der SWS Service Box enthalten
(5) Hubring
(6) Niederhalter-Blech rechts und links
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