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4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitu ng SIPLACE CA-Serie 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 246 4.5.7.3 Ausbau der 8" W aferaufnahme Niederhalter-Blech ausbauen 4 Es …
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher
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4.5.7.2 Vorbereitungen
Beenden Sie alle laufenden Vorgänge am SWS-Modul.
Fahren Sie den Wafer-Tisch in die Wechselposition.
Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wech-
selposition anfahren.
Öffnen Sie die Klemmung.
Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wa-
fer-Klemmung öffnen.
– Die Klemmung wird geöffnet und der Expansionsring wird nach unten gefahren.
Öffnen Sie den Expander
Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Ex-
pander loslassen.
– Das Niederhalter-Blech wird nach oben gefahren.
Wählen Sie in der Ansicht Produktion -> Sonstiges und betätigen Sie dort den roten Aus-
schalt-Button.
SWS GUI und Linux werden ordnungsgemäß beendet. 4
Schalten Sie das SWS am Hauptschalter aus.
VORSICHT
Beschädigungen am Greifer vermeiden
Beim Arbeiten an der Waferaufnahme kann der Greifer beschädigt werden.
Schieben Sie den Greifer in Richtung Wafer-Lift und aus dem Arbeitsbereich der Wa-
feraufnahme.
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4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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4.5.7.3 Ausbau der 8" Waferaufnahme
Niederhalter-Blech ausbauen 4
Es muss das Niederhalter-Blech für die jeweilige Waferaufnahme ausgetauscht werden.
Abb. 4.5 - 7 Wafer-Aufnahme - Niederhalter-Blech ausbauen
Stecken Sie das Hilfstool zur Fixierung der Hubkolben (2) in die Öffnung und fixieren Sie da-
mit den innen liegenden Hubkolben.
Lösen Sie nacheinander die jeweils 4 Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Blechen (5).
Entnehmen Sie die konische Fixierscheibe (3). Achten Sie darauf, dass Sie diese für den spä-
teren Wiedereinbau nicht verlieren.
Entnehmen Sie die beiden Niederhalter-Bleche (4).
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Klemmung lösen 4
Abb. 4.5 - 8 Wafer-Aufnahme - Klemmung lösen
Entfernen Sie den Sprengring an der Welle (2) der Klemmung (1).
Hängen Sie die Klemmung aus, so dass der Klemmhebel (3) frei ist (4).
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