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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher 247 Klemmung lösen 4 Abb. 4.5 - 8 Wafer -Aufnahme - Klemmung lösen Entfern en …
4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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4.5.7.3 Ausbau der 8" Waferaufnahme
Niederhalter-Blech ausbauen 4
Es muss das Niederhalter-Blech für die jeweilige Waferaufnahme ausgetauscht werden.
Abb. 4.5 - 7 Wafer-Aufnahme - Niederhalter-Blech ausbauen
Stecken Sie das Hilfstool zur Fixierung der Hubkolben (2) in die Öffnung und fixieren Sie da-
mit den innen liegenden Hubkolben.
Lösen Sie nacheinander die jeweils 4 Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Blechen (5).
Entnehmen Sie die konische Fixierscheibe (3). Achten Sie darauf, dass Sie diese für den spä-
teren Wiedereinbau nicht verlieren.
Entnehmen Sie die beiden Niederhalter-Bleche (4).
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Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher
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Klemmung lösen 4
Abb. 4.5 - 8 Wafer-Aufnahme - Klemmung lösen
Entfernen Sie den Sprengring an der Welle (2) der Klemmung (1).
Hängen Sie die Klemmung aus, so dass der Klemmhebel (3) frei ist (4).
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Hubring entfernen 4
Es muss der Hubring für die jeweilige Waferaufnahme ausgetauscht werden.
Abb. 4.5 - 9 Wafer-Aufnahme - Hubring ausbauen
Lösen Sie die 4 Schrauben (1) für die Fixierung des Hubringes.
Entnehmen Sie die Fixierscheibe (2) und die Feder (3). Achten Sie darauf, dass Sie die Fi-
xierscheibe (2) und die Feder (3) für den späteren Wiedereinbau nicht verlieren.
Stecken Sie die beiden Sensoren (4) am Stecker (5) der Kabelverlängerung (6) ab.
Entnehmen Sie den Hubring.
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