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4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitu ng SIPLACE CA-Serie 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 248 Hubring entfernen 4 Es muss der Hubring für die jeweilig e Waferaufnahme au…
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher
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Klemmung lösen 4
Abb. 4.5 - 8 Wafer-Aufnahme - Klemmung lösen
Entfernen Sie den Sprengring an der Welle (2) der Klemmung (1).
Hängen Sie die Klemmung aus, so dass der Klemmhebel (3) frei ist (4).
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4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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Hubring entfernen 4
Es muss der Hubring für die jeweilige Waferaufnahme ausgetauscht werden.
Abb. 4.5 - 9 Wafer-Aufnahme - Hubring ausbauen
Lösen Sie die 4 Schrauben (1) für die Fixierung des Hubringes.
Entnehmen Sie die Fixierscheibe (2) und die Feder (3). Achten Sie darauf, dass Sie die Fi-
xierscheibe (2) und die Feder (3) für den späteren Wiedereinbau nicht verlieren.
Stecken Sie die beiden Sensoren (4) am Stecker (5) der Kabelverlängerung (6) ab.
Entnehmen Sie den Hubring.
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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher
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Sensoren beim 8" Hubring demontieren 4
Bei der 8" Waferaufnahme sind die beiden Sensoren am Hubring befestigt. Diese Sensoren müs-
sen für den späteren Wiedereinbau vom 8" Hubring demontiert werden. Bei der 12" Waferauf-
nahme werden die beiden Sensoren mit Hilfe der mitgelieferten Winkeln auf die Waferaufnahme
im SWS montiert.
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Abb. 4.5 - 10 Wafer-Aufnahme - 8" Hubring ausgebaut
Demontieren Sie die, über den Sensoren angebrachten, Hitzeschutzbleche.
Demontieren Sie die beiden Sensoren (1) von den Montagewinkeln des Hubringes.
Entnehmen Sie die beiden Sensoren und montieren diese auf die beiden Montagewinkel aus
dem 12" Nachrüstsatz.
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