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4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitu ng SIPLACE CA-Serie 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 250 Sensoren auf die Montagewinkel für 12" montieren 4 4 Abb. 4.5 - 1 1 Wa…
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher
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Sensoren beim 8" Hubring demontieren 4
Bei der 8" Waferaufnahme sind die beiden Sensoren am Hubring befestigt. Diese Sensoren müs-
sen für den späteren Wiedereinbau vom 8" Hubring demontiert werden. Bei der 12" Waferauf-
nahme werden die beiden Sensoren mit Hilfe der mitgelieferten Winkeln auf die Waferaufnahme
im SWS montiert.
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Abb. 4.5 - 10 Wafer-Aufnahme - 8" Hubring ausgebaut
Demontieren Sie die, über den Sensoren angebrachten, Hitzeschutzbleche.
Demontieren Sie die beiden Sensoren (1) von den Montagewinkeln des Hubringes.
Entnehmen Sie die beiden Sensoren und montieren diese auf die beiden Montagewinkel aus
dem 12" Nachrüstsatz.
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4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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Sensoren auf die Montagewinkel für 12" montieren 4
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Abb. 4.5 - 11 Wafer-Aufnahme - Sensor 1
(1) Montagewinkel
(2) Sensor auf Montagewinkel montiert
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Abb. 4.5 - 12 Wafer-Aufnahme - Sensor 2
(1) Montagewinkel
(2) Sensor auf Montagewinkel montiert
Montieren Sie die beiden Sensoren (2) auf die Montagewinkel (1) aus dem 12" Nachrüstsat-
zes.
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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher
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Sensoren in die 12" Waferaufnahme einbauen 4
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
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Abb. 4.5 - 13 Wafer-Aufnahme - Sensoren montieren
Stecken Sie den Anschluss der Sensoren an.
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
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