00197497-03_UM_SiplaceCA-Serie_DE - 第252页
4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitu ng SIPLACE CA-Serie 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 252 Klotz auf Klemmung montieren 4 4 Abb. 4.5 - 14 Wafer- Aufnahme - Klotz für …
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher
251
Sensoren in die 12" Waferaufnahme einbauen 4
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
4
Abb. 4.5 - 13 Wafer-Aufnahme - Sensoren montieren
Stecken Sie den Anschluss der Sensoren an.
Montieren Sie die beiden Sensoren mit den Montagewinkeln in die Waferaufnahme.
1
2
4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
252
Klotz auf Klemmung montieren 4
4
Abb. 4.5 - 14 Wafer-Aufnahme - Klotz für Klemmung montieren
Montieren Sie den Klotz (2) aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Klemmung (1).
1
2
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher
253
Abdeckblech montieren (nur bei 12" Waferaufnahme) 4
Montieren Sie das Abdeckblech mit 4 Schrauben auf die Waferaufnahme.
4
Abb. 4.5 - 15 Wafer-Aufnahme - Abdeckblech montieren
1