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4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitu ng SIPLACE CA-Serie 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 254 Hubring montieren 4 4 Abb. 4.5 - 16 Wafer- Aufnahme - Hubring montieren  L…

Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)

Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher

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Abdeckblech montieren (nur bei 12" Waferaufnahme) 4

Montieren Sie das Abdeckblech mit 4 Schrauben auf die Waferaufnahme.

Abb. 4.5 - 15 Wafer-Aufnahme - Abdeckblech montieren

4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie

4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014

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Hubring montieren 4

Abb. 4.5 - 16 Wafer-Aufnahme - Hubring montieren

 Legen Sie den Hubring (1) ein.

 Stecken Sie die vier Federn (3) in die vier Bohrungen.

 Stecken Sie die vier Fixierscheiben (2) auf.

 Befestigen Sie die Fixierscheiben mit den Befestigungsschrauben (4).

Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)

Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher

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Niederhalter-Bleche montieren 4

Abb. 4.5 - 17 Wafer-Aufnahme - Niederhalter-Blech ausbauen

 Richten Sie die Hubkolben mit dem Hilfstool (2) so aus, dass die Öffnung nach außen zeigen.

 Legen Sie die Niederhalter-Bleche aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Waferaufnahme.

 Legen Sie die konischen Fixierscheiben (3) in die Bohrung ein.

 Schrauben Sie die Niederhalter-Bleche mit den Schrauben locker fest.

 Stecken Sie das Hilfstool (4) in die Öffnung und fixieren Sie damit den innen liegenden Hub-

kolben.

 Schrauben Sie die jeweils 4 Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Blechen (5) fest.