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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher 255 Niederhalter-Bleche montieren 4 Abb. 4.5 - 17 Wafer -Aufnahme - Niederhalter…
4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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Hubring montieren 4
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Abb. 4.5 - 16 Wafer-Aufnahme - Hubring montieren
Legen Sie den Hubring (1) ein.
Stecken Sie die vier Federn (3) in die vier Bohrungen.
Stecken Sie die vier Fixierscheiben (2) auf.
Befestigen Sie die Fixierscheiben mit den Befestigungsschrauben (4).
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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher
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Niederhalter-Bleche montieren 4
Abb. 4.5 - 17 Wafer-Aufnahme - Niederhalter-Blech ausbauen
Richten Sie die Hubkolben mit dem Hilfstool (2) so aus, dass die Öffnung nach außen zeigen.
Legen Sie die Niederhalter-Bleche aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Waferaufnahme.
Legen Sie die konischen Fixierscheiben (3) in die Bohrung ein.
Schrauben Sie die Niederhalter-Bleche mit den Schrauben locker fest.
Stecken Sie das Hilfstool (4) in die Öffnung und fixieren Sie damit den innen liegenden Hub-
kolben.
Schrauben Sie die jeweils 4 Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Blechen (5) fest.
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4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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4.5.7.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8
Die Sensoren von der Waferaufnahme müssen demontiert und auf die 8" Expansionsbleche mon-
tiert werden. Siehe Siehe “Wafer-Aufnahme - 8" Hubring ausgebaut” auf Seite 249.
An der Klemmung muss der Klotz demontiert werden und anstelle der Klemmhebel eingehängt
werden. Siehe Siehe “Wafer-Aufnahme - Klemmung lösen” auf Seite 247.