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4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitu ng SIPLACE CA-Serie 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 256 4.5.7.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8 Die Sensor en von der Wa…
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 4 SIPLACE Wafer-System (SWS)
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher
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Niederhalter-Bleche montieren 4
Abb. 4.5 - 17 Wafer-Aufnahme - Niederhalter-Blech ausbauen
Richten Sie die Hubkolben mit dem Hilfstool (2) so aus, dass die Öffnung nach außen zeigen.
Legen Sie die Niederhalter-Bleche aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Waferaufnahme.
Legen Sie die konischen Fixierscheiben (3) in die Bohrung ein.
Schrauben Sie die Niederhalter-Bleche mit den Schrauben locker fest.
Stecken Sie das Hilfstool (4) in die Öffnung und fixieren Sie damit den innen liegenden Hub-
kolben.
Schrauben Sie die jeweils 4 Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Blechen (5) fest.
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4 SIPLACE Wafer-System (SWS) Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014
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4.5.7.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8
Die Sensoren von der Waferaufnahme müssen demontiert und auf die 8" Expansionsbleche mon-
tiert werden. Siehe Siehe “Wafer-Aufnahme - 8" Hubring ausgebaut” auf Seite 249.
An der Klemmung muss der Klotz demontiert werden und anstelle der Klemmhebel eingehängt
werden. Siehe Siehe “Wafer-Aufnahme - Klemmung lösen” auf Seite 247.
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 5 Aufstellen und Inbetriebnahme
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE -DRAFT 5.1 Abmessungen und Gewicht
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5 Aufstellen und Inbetriebnahme
5.1 Abmessungen und Gewicht
Die Daten zu Abmessungen und Gewicht der Bestückautomaten finden Sie in Abschnitt 3.4, Seite
128
.
5.2 Anlieferungskonfiguration und Transport des
Bestückautomaten
5.2.1 Transportverpackung
Innerhalb Europas wird der Bestückautomat auf einer Holzpalette und in Plastikfolie verpackt aus-
geliefert. Außerhalb Europas wird der Bestückautomat in einer Transportkiste aus Holz angelie-
fert. Er ist auf eine stabile Holzpalette montiert.
5.2.1.1 Abmessungen der Transportverpackung
Die Abmessungen der Transportkiste aus Holz sind:
Länge 2404 mm
Breite 2790 mm
Höhe 1600 mm 5
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Abb. 5.2 - 1 Transportkiste - Abmessungen in Millimeter
(A) Ansatzpunkte für den Gabelstapler