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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Inhalt Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE 3 Inhalt 1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .…

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Artikel-Nr.: 00197497-03

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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Inhalt

Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE

Inhalt

1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .19

1.1 Maschinenübersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20

1.1.1 SIPLACE CA4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20

1.1.1.1 Übersicht der Bestückkopf-Konfiguration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21

1.2 Maschinenbeschreibung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21

1.2.1 Beschreibung des SIPLACE Wafer-Systems (SWS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22

1.2.1.1 Beschreibung und Funktionsprinzip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22

1.2.1.2 Einbaumöglichkeiten des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23

1.2.2 SIPLACE-Prinzip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23

1.2.3 Seriennummer des SIPLACE CA-Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

1.2.4 EG-Konformitätserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

1.2.5 Bestimmungsgemäßer Gebrauch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

1.2.6 Bestimmungswidriger Gebrauch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

1.2.7 Geräuschemissionsangabe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

1.2.8 Wichtige Hinweise zur umweltfreundlichen Entsorgung von Materialien

bzw. Maschinenteilen27

1.2.9 Elektromagnetische Verträglichkeit (EMV). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

1.2.10 Hinweis zum Original-SIPLACE Zubehör. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

1.3 Personalqualifikation und Schulung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .29

1.4 Bedienebenen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30

1.5 Wichtige Hinweise zur Betriebsanleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

1.5.1 Inhalt und Aufbewahrung der Betriebsanleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

1.5.2 Gefahrenhinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

1.5.3 Mängelhaftung durch den Hersteller/Lieferer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

1.5.4 Übersicht über die Ausgabestände . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

1.6 Weitere Informationen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

1.6.1 Wo bekommen Sie Informationen? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

1.6.2 SIPLACE im Internet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33

1.7 Abkürzungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34

2 Betriebssicherheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .37

2.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37

2.1.1 Konvention zur Verwendung von Gefahrensymbolen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37

2.1.2 Qualifiziertes Personal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie

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2.1.3 Wichtige Hinweise zur Betriebssicherheit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

2.1.3.1 Allgemeines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

2.1.3.2 Zur Sicherheit von Personen und Bedienpersonal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39

2.1.3.3 Zur Sicherheit von Anlagen und Geräten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40

2.1.4 Sicherheitshinweise zu Laserbaugruppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40

2.1.5 Sicherheitshinweise zu Permanentmagneten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41

2.2 Warnschilder am Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44

2.2.1 Warnschilder W201, W203, W204 und W210 am Bestückautomaten . . . . . . . . . . 44

2.2.1.1 Warnschild W201 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46

2.2.1.2 Warnschild W203 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46

2.2.1.3 Warnschild W204 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46

2.2.1.4 Warnschild W210 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47

2.2.2 Warnschild W202 an den Portalen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48

2.2.3 Warnschild W205 am Gurtschneidgerät. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50

2.2.3.1 Warnschild W205 an der Oberseite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50

2.2.3.2 Warnschild W205 an der Gurtabfallrutsche (X/CA-Serie) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51

2.2.4 Warnschild W206 und W1 an der Stromversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52

2.2.5 Warnschild W und Hinweisschild H an der Stromversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . 53

2.2.6 Warnschild W an der Abdeckung über der Stromversorgung für die

Servoverstärker . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54

2.2.7 Warnschild W207 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55

2.2.7.1 Warnschild W207 am Achseinschub . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55

2.2.7.2 Warnschild W207 an der Einschaltstrombegrenzung der Stromversorgung . . . . . 56

2.2.8 Warnschild W208 "Laserklasse 2" am LP-Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57

2.2.9 Warnschild W211 am CEKON-Stecker . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58

2.2.10 Warnschild W209 an den NOT-HALT-Tastern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59

2.2.11 Hinweisschild "Kopfcrash" an der IC-Kamera des TwinHead . . . . . . . . . . . . . . . . 60

2.3 Warnschilder am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

2.3.1 Warnschild W204 auf der Waferaufnahme. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

2.3.2 Warnschild am SIPLACE SWS Wafer Stretcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62

2.3.3 Warnschild W201 Sicherer Betrieb der Maschine SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63

2.3.4 Warnhinweis auf der Linear-Dipping-Unit (LDU) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64

2.3.5 Warnhinweis auf der Flip-Unit und der Die-Attach-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65

2.3.6 Warnschild W209 am NOT-HALT-Taster . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66

2.4 Laserklassifizierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .67

2.4.1 Laserklasse 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

2.4.1.1 Klassifizierung der Gesamtmaschine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

2.4.1.2 Klassifizierung der Kamerasysteme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

2.4.2 Laserklasse 1M . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

2.4.3 Laserklasse 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

2.5 Sicherheitshinweise zum Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .68

2.5.1 Transport des Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

2.5.2 Transport des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69

2.6 Sicherheitshinweise zum Betrieb des Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70

2.6.1 Sicherheitshinweise zum Schließen der Schutzhauben. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70