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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 6 Aufgaben an der Maschine Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE -DR AFT 6.4 Aufgaben am SWS 357 6.4.4 Magazin in den Magazin-Lif t einsetzen  Öffn en Sie die Schiebetür des M…

6 Aufgaben an der Maschine Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie

6.4 Aufgaben am SWS Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE -DRAFT

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6.4 Aufgaben am SWS

6.4.1 Einschalten der SIPLACE CA

 Schalten Sie zuerst alle SWS-Module der SIPLACE CA ein.

Die Module fahren hoch. Solange der Bestücker noch nicht eingeschaltet ist, wird am Bildschirm

der SWS-Module eine Fehlermeldung ausgegeben, die darauf hinweist, dass der Sicherheitskreis

nicht geschlossen ist.

 Schalten Sie den Bestücker ein.

Der Stationscomputer und Maschinencontroller starten.

Sobald der Bestücker hochgefahren ist und die Start-Taste betätigt wurde, verschwindet an den

SWS-Modulen die Fehlermeldung zum nicht geschlossenenen Sicherheitskreis. Die SWS-Mo-

dule initialisieren.

Nach abgeschlossener Initialisierung sind die SWS-Module betriebsbereit und in Standby.

6.4.2 Ausschalten der SIPLACE CA

SWS ausschalten

 Beenden Sie alle laufenden Vorgänge an den SWS-Modulen.

 Wechseln Sie an der GUI des SWS-Computer in die Ansicht Produktion -> Sonstiges und

betätigen Sie dort den roten Ausschalt-Button.

SWS GUI und Linux werden ordnungsgemäß beendet. 6

 Schalten Sie das SWS am Hauptschalter aus.

 Wiederholen Sie dies ggf. für jedes weitere SWS.

Bestücker ausschalten

 Beenden Sie alle laufenden Vorgänge am Bestücker.

 Fahren Sie den Stationscomputer herunter.

 Schalten Sie den Bestücker am Hauptschalter aus.

6.4.3 Magazin befüllen

 Befüllen Sie die Magazine mit den Waferframes so, dass die Zentrierkerben nach vorne, zur

Einschuböffnung zeigen.

HINWEIS

 Achten Sie bei Verwendung von Frame-Adaptern für 5, 6 oder 7 Zoll Wafer darauf,

dass nur jeder zweite Slot verwendet werden darf.

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6.4.4 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen

 Öffnen Sie die Schiebetür des Magazin-Lifts und setzen Sie das Magazin in die Grundplatte

des Lifts, so dass die Zentrierkerben der Wafer in die Maschine zeigen. Achten Sie darauf,

dass das Magazin richtig einrastet.

Abb. 6.4 - 1 Magazin einsetzen

HINWEIS

Beim Einlegen der Wafer-Rahmen müssen die Aussparungen im Wafer-Rahmen in

Zuführrichtung liegen.

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6.4.5 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manuelle Einstellungen -> Wafer Handling

Systeme und klicken Sie auf den Button Wechselposition anfahren.

Der Wafer-Tisch wird weggefahren.

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manuelle Einstellungen -> Die Handling Sys-

teme und wählen Sie die Registerkarte Ausstecheinheit.

 Klicken Sie auf den Button .

Der Wafer-Tisch wird weggefahren und das Ausstechsystem (Die Ejector) aufwärts gefahren,

so dass es zugänglich ist.

 Schalten Sie den Bestücker und das SWS ordnungsgemäß aus.

 Öffnen Sie die Schutzhaube oberhalb des SWS.

 Öffnen Sie den Bajonettverschluss an der Zentriereinheit und nehmen Sie das Nadel-Kit aus

der Zentriereinheit heraus.

VORSICHT

Beschädigungsgefahr!

Bei Verschiebung des Wafertisches von Hand kann das nch oben gefahrene

Ausstechsystem mit dem Wafertisch kollidieren und beschädigt werden.

 Verschieben Sie den Wafertisch nicht von Hand.