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6 Aufgaben an der Maschine Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 6.4 Aufgaben am SWS Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE -DRAFT 358 6.4.5 N adelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten  Wechseln Sie in der SWS…

Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 6 Aufgaben an der Maschine

Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE -DRAFT 6.4 Aufgaben am SWS

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6.4.4 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen

 Öffnen Sie die Schiebetür des Magazin-Lifts und setzen Sie das Magazin in die Grundplatte

des Lifts, so dass die Zentrierkerben der Wafer in die Maschine zeigen. Achten Sie darauf,

dass das Magazin richtig einrastet.

Abb. 6.4 - 1 Magazin einsetzen

HINWEIS

Beim Einlegen der Wafer-Rahmen müssen die Aussparungen im Wafer-Rahmen in

Zuführrichtung liegen.

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6.4.5 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manuelle Einstellungen -> Wafer Handling

Systeme und klicken Sie auf den Button Wechselposition anfahren.

Der Wafer-Tisch wird weggefahren.

 Wechseln Sie in der SWS GUI in die Ansicht Manuelle Einstellungen -> Die Handling Sys-

teme und wählen Sie die Registerkarte Ausstecheinheit.

 Klicken Sie auf den Button .

Der Wafer-Tisch wird weggefahren und das Ausstechsystem (Die Ejector) aufwärts gefahren,

so dass es zugänglich ist.

 Schalten Sie den Bestücker und das SWS ordnungsgemäß aus.

 Öffnen Sie die Schutzhaube oberhalb des SWS.

 Öffnen Sie den Bajonettverschluss an der Zentriereinheit und nehmen Sie das Nadel-Kit aus

der Zentriereinheit heraus.

VORSICHT

Beschädigungsgefahr!

Bei Verschiebung des Wafertisches von Hand kann das nch oben gefahrene

Ausstechsystem mit dem Wafertisch kollidieren und beschädigt werden.

 Verschieben Sie den Wafertisch nicht von Hand.

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Abb. 6.4 - 2 Nadel-Kit mit abgenommener Vakuumkappe

Legende

 Nehmen Sie die Vakuumkappe vom Nadel-Kit ab (1).

 Lösen Sie die Madenschraube (2).

 Setzen Sie die dem Produkt entsprechende Nadelmatrix ein.

 Stecken Sie alle Nadeln vorsichtig in die Segmente und richten die Nadeln ungefähr in einer

Flucht aus.

 Ziehen Sie die die Madenschrauben locker an. Die Nadeln müssen sich noch verschieben

lassen.

 Führen Sie die nachfolgenden Einstellungen mit dem jeweiligen Kalibriernormal durch.

(1) Vakuumkappe (2) Madenschraube