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Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE 4 2.1.3 Wichtige Hinweise zur Betriebssicherheit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38 2.1.3.1 Allgemei…

Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Inhalt

Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE

Inhalt

1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .19

1.1 Maschinenübersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20

1.1.1 SIPLACE CA4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20

1.1.1.1 Übersicht der Bestückkopf-Konfiguration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21

1.2 Maschinenbeschreibung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21

1.2.1 Beschreibung des SIPLACE Wafer-Systems (SWS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22

1.2.1.1 Beschreibung und Funktionsprinzip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22

1.2.1.2 Einbaumöglichkeiten des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23

1.2.2 SIPLACE-Prinzip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23

1.2.3 Seriennummer des SIPLACE CA-Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

1.2.4 EG-Konformitätserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

1.2.5 Bestimmungsgemäßer Gebrauch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

1.2.6 Bestimmungswidriger Gebrauch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

1.2.7 Geräuschemissionsangabe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

1.2.8 Wichtige Hinweise zur umweltfreundlichen Entsorgung von Materialien

bzw. Maschinenteilen27

1.2.9 Elektromagnetische Verträglichkeit (EMV). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

1.2.10 Hinweis zum Original-SIPLACE Zubehör. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

1.3 Personalqualifikation und Schulung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .29

1.4 Bedienebenen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30

1.5 Wichtige Hinweise zur Betriebsanleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

1.5.1 Inhalt und Aufbewahrung der Betriebsanleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

1.5.2 Gefahrenhinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

1.5.3 Mängelhaftung durch den Hersteller/Lieferer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

1.5.4 Übersicht über die Ausgabestände . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

1.6 Weitere Informationen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

1.6.1 Wo bekommen Sie Informationen? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

1.6.2 SIPLACE im Internet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33

1.7 Abkürzungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34

2 Betriebssicherheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .37

2.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37

2.1.1 Konvention zur Verwendung von Gefahrensymbolen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37

2.1.2 Qualifiziertes Personal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie

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2.1.3 Wichtige Hinweise zur Betriebssicherheit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

2.1.3.1 Allgemeines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

2.1.3.2 Zur Sicherheit von Personen und Bedienpersonal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39

2.1.3.3 Zur Sicherheit von Anlagen und Geräten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40

2.1.4 Sicherheitshinweise zu Laserbaugruppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40

2.1.5 Sicherheitshinweise zu Permanentmagneten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41

2.2 Warnschilder am Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44

2.2.1 Warnschilder W201, W203, W204 und W210 am Bestückautomaten . . . . . . . . . . 44

2.2.1.1 Warnschild W201 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46

2.2.1.2 Warnschild W203 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46

2.2.1.3 Warnschild W204 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46

2.2.1.4 Warnschild W210 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47

2.2.2 Warnschild W202 an den Portalen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48

2.2.3 Warnschild W205 am Gurtschneidgerät. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50

2.2.3.1 Warnschild W205 an der Oberseite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50

2.2.3.2 Warnschild W205 an der Gurtabfallrutsche (X/CA-Serie) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51

2.2.4 Warnschild W206 und W1 an der Stromversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52

2.2.5 Warnschild W und Hinweisschild H an der Stromversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . 53

2.2.6 Warnschild W an der Abdeckung über der Stromversorgung für die

Servoverstärker . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54

2.2.7 Warnschild W207 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55

2.2.7.1 Warnschild W207 am Achseinschub . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55

2.2.7.2 Warnschild W207 an der Einschaltstrombegrenzung der Stromversorgung . . . . . 56

2.2.8 Warnschild W208 "Laserklasse 2" am LP-Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57

2.2.9 Warnschild W211 am CEKON-Stecker . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58

2.2.10 Warnschild W209 an den NOT-HALT-Tastern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59

2.2.11 Hinweisschild "Kopfcrash" an der IC-Kamera des TwinHead . . . . . . . . . . . . . . . . 60

2.3 Warnschilder am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

2.3.1 Warnschild W204 auf der Waferaufnahme. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

2.3.2 Warnschild am SIPLACE SWS Wafer Stretcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62

2.3.3 Warnschild W201 Sicherer Betrieb der Maschine SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63

2.3.4 Warnhinweis auf der Linear-Dipping-Unit (LDU) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64

2.3.5 Warnhinweis auf der Flip-Unit und der Die-Attach-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65

2.3.6 Warnschild W209 am NOT-HALT-Taster . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66

2.4 Laserklassifizierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .67

2.4.1 Laserklasse 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

2.4.1.1 Klassifizierung der Gesamtmaschine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

2.4.1.2 Klassifizierung der Kamerasysteme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

2.4.2 Laserklasse 1M . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

2.4.3 Laserklasse 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

2.5 Sicherheitshinweise zum Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .68

2.5.1 Transport des Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

2.5.2 Transport des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69

2.6 Sicherheitshinweise zum Betrieb des Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70

2.6.1 Sicherheitshinweise zum Schließen der Schutzhauben. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70

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2.6.2 Sicherheitshinweise für die Verarbeitung von Kondensatoren auf Metallpulver-Basis71

2.6.3 Sicherheitshinweise zum Abziehen von Pipetten bei Collect&Place-Köpfen . . . . . 72

2.6.4 Sicherheitshinweise zum manuellen Verschieben der Z-Achse am TwinStar . . . . 73

2.6.5 Sicherheitshinweise für die BE-Kameras des TwinStar bei einem Bestückkopfwechsel

2.6.6 Sicherheitshinweise zum An- und Abdocken des BE-Wagens . . . . . . . . . . . . . . . 75

2.6.7 Sicherheitshinweise zum Bewegen des BE-Wagens. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76

2.6.8 Sicherheitshinweise zum Leeren des Gurtabfallbehälters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76

2.6.9 Kollisionsgefahr des Abwurfbehälters mit dem BE-Sensor des

SIPLACE C&P20 M77

2.6.10 Hinweis zur EGB-Sicherheit der Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78

2.6.11 Hohe Temperaturen am C&P20 M-Bestückkopf bei Dauerbetrieb . . . . . . . . . . . . 79

2.6.12 Hohe Temperaturen an den X-Zuführmodulen bei Dauerbetrieb. . . . . . . . . . . . . . 80

2.7 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81

2.7.1 Sicherheitshinweise zu Arbeiten am Wafer-Tisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81

2.7.2 Sicherheitshinweise zum Wechseln der Wafermagazine. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81

2.7.3 Sicherheitshinweise zum Schließen der Schutzhaube. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82

2.7.4 Sicherheitshinweise zur Linear-Dipping-Unit (LDU). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82

2.8 Sicherheitseinrichtungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83

2.8.1 Schutzhauben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83

2.8.2 Schalter und Taster am Automaten und am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85

2.8.2.1 Lage von Schaltern und Tastern am Automaten und am SWS . . . . . . . . . . . . . . . 85

2.8.2.2 Funktionsbeschreibung der Schalter und Taster am Automaten . . . . . . . . . . . . . . 87

2.8.2.3 Funktionsbeschreibung der Schalter und Taster am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89

2.8.2.4 Lage von Schutzschaltern am Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91

2.8.3 Lage von Schützsicherheitskombination und Servicesteckdose . . . . . . . . . . . . . . 92

2.8.4 NOT-HALT-Schleifen und Meldekreis an SIPLACE und SWS. . . . . . . . . . . . . . . . 93

2.8.4.1 Aufbau der SIPLACE-NOT-HALT-Schleifen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94

2.8.4.2 Aufbau des Meldekreises . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95

2.8.4.3 Funktionsbeschreibung der SIPLACE-NOT-HALT-Schleifen. . . . . . . . . . . . . . . . . 95

2.8.4.4 Aufbau und Kontrolle der SWS-NOT-HALT-Schleifen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97

2.8.4.5 Funktionsbeschreibung der SWS-NOT-HALT-Schleife . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97

2.8.5 Eingreifschutz an den Stellplätzen des BE-Wagens, SIPLACE X-Serie . . . . . . . . 99

2.9 Restspannungen und Entladezeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100

2.9.1 (Bestück-)Automat . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100

2.9.1.1 Betriebsspannungen, Restspannungen und Entladezeiten nach Drücken

des NOT-HALT-Tasters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101

2.9.1.2 Restspannungen und Entladezeiten nach Ausschalten des Hauptschalters . . . . 102

2.10 Sperren der Druckluftzufuhr und Druckabbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102

2.11 Energiezustand nach Ausschalten des Hauptschalters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105

2.11.1 Hauptschalter am Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105

2.11.1.1 Hauptschalter ausgeschaltet - Automat am Netz angeklemmt . . . . . . . . . . . . . . 109

2.11.1.2 Hauptschalter ausgeschaltet - Automat vom Netz abgeklemmt. . . . . . . . . . . . . . 113

2.11.1.3 Druckluftverhältnisse im Automaten nach Abschalten des Hauptschalters . . . . . 113

2.11.2 Hauptschalter am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113