00197497-03_UM_SiplaceCA-Serie_DE - 第62页
2 Betriebssicherheit Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 2.3 Warnschilder am SWS Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE -DR AFT 62 2.3.2 W arnschild am SIPL ACE SWS W afer S tretcher 2 2 Abb. 2.3 - 2 Waferaufnahme…
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 2 Betriebssicherheit
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE -DRAFT 2.3 Warnschilder am SWS
61
2.3 Warnschilder am SWS
Die Warnschilder sind aus Weich-PVC-Folie gefertigt, abriebfest, lichtecht und beständig gegen
Wasser und Witterungseinflüsse. Die Gestaltung der Warnschilder entspricht den Vorgaben der
ISO 3864-2 und ANSI Z535.4. 2
2
2.3.1 Warnschild W204 auf der Waferaufnahme
Abb. 2.3 - 1 Warnschild W204 Quetschgefahr am Durchbruch der Seitenwand
WARNUNG
Sachschaden an Warnschildern!
Die Warnschilder können durch scharfe Reinigungsmittel oder Lösungsmittel beschädigt
oder zerstört werden.
Reinigen Sie die Warnschilder nicht mit scharfen Reinigungsmitteln oder Lösungs-
mitteln.
Ersetzen Sie grundsätzlich fehlende, beschädigte oder nicht mehr lesbare Warnschil-
der.
2
2
2
QUETSCHGEFAHR!
Eingreifen kann zu Verletzungen an Armen und Händen führen.
Nicht in die laufende Maschine greifen
2 Betriebssicherheit Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
2.3 Warnschilder am SWS Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE -DRAFT
62
2.3.2 Warnschild am SIPLACE SWS Wafer Stretcher
2
2
Abb. 2.3 - 2 Waferaufnahme mit SIPLACE SWS Wafer Stretcher
Siehe dazu Abschnitt 4.5 auf Seite 235.
VORSICHT
Vebrennungsgefahr durch hohe Temperaturen!
Die Heizung kann Temperaturen bis zu 60°C erreichen.
Fassen Sie nicht in den Bereich des Gebläses.
Vorsicht beim Berühren der Waferaufnahme.
1
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 2 Betriebssicherheit
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE -DRAFT 2.3 Warnschilder am SWS
63
2.3.3 Warnschild W201 Sicherer Betrieb der Maschine SWS
2
2
Abb. 2.3 - 3 W201 [03009338-01] Sicherer Betrieb der Maschine am SWS (Anzahl pro SWS: 1)
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
SICHERER BETRIEB DER MASCHINE
Voraussetzung für den sicheren Betrieb der Maschine
ist die Kenntnis und Einhaltung der Betriebsanleitung
und der Sicherheitshinweise.