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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 2 Betriebssicherheit Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE -DR AFT 2.3 Warnschilder am SWS 63 2.3.3 W arnsch ild W201 Sicher er Betrieb der Maschine SWS 2 2 Abb. 2.3 - 3 W201 […

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2 Betriebssicherheit Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
2.3 Warnschilder am SWS Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE -DRAFT
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2.3.2 Warnschild am SIPLACE SWS Wafer Stretcher
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Abb. 2.3 - 2 Waferaufnahme mit SIPLACE SWS Wafer Stretcher
Siehe dazu Abschnitt 4.5 auf Seite 235.
VORSICHT
Vebrennungsgefahr durch hohe Temperaturen!
Die Heizung kann Temperaturen bis zu 60°C erreichen.
Fassen Sie nicht in den Bereich des Gebläses.
Vorsicht beim Berühren der Waferaufnahme.
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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 2 Betriebssicherheit
Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE -DRAFT 2.3 Warnschilder am SWS
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2.3.3 Warnschild W201 Sicherer Betrieb der Maschine SWS
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Abb. 2.3 - 3 W201 [03009338-01] Sicherer Betrieb der Maschine am SWS (Anzahl pro SWS: 1)
2 Betriebssicherheit Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
2.3 Warnschilder am SWS Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE -DRAFT
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2.3.4 Warnhinweis auf der Linear-Dipping-Unit (LDU)
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Abb. 2.3 - 4 W201 [03009338-01] (Anzahl pro LDU: 1)
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Abb. 2.3 - 5 W204 [03009343-01] (Anzahl pro LDU: 1)
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Abb. 2.3 - 6 W18 (Anzahl pro LDU: 1)
Abb. 2.3 - 7 Warnschilder an der LDU