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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Inhalt Ab Softwareversion SR 708.0 Ausgabe 12/2014 DE 9 4.1.3 Basic-Die-Presentat ion-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 201 4.1.3.1 Flip-…
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3.12 Visionkameras . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 180
3.12.1 BE-Kamera C&P, Typ 41, 6 x 6, digital . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 181
3.12.1.1 Aufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .181
3.12.1.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 181
3.12.2 BE-Kamera C&P, Typ 30, 27 x 27, digital . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 182
3.12.2.1 Aufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .182
3.12.2.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 182
3.12.3 BE-Kamera stationär P&P, Typ 33, 55 x 45, digital . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183
3.12.3.1 Aufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .183
3.12.3.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183
3.12.4 LP-Kamera, Typ 34, digital. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 184
3.12.4.1 Aufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .184
3.12.4.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 184
3.12.4.3 Passmarken-Kriterien. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 185
3.12.4.4 Inkpunkt-Kriterien . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 186
3.13 LP-Einfachtransport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 187
3.13.1 Aufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 187
3.13.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 188
3.13.3 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 189
3.14 Flexibler LP-Doppeltransport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .190
3.14.1 Aufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 190
3.14.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 191
3.14.3 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 192
3.14.4 Leistungsmerkmal "Flexibler Doppeltransport". . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 192
3.14.5 Definition der Transportspuren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 193
3.14.6 Definition der Transportspurbreite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 193
3.14.6.1 Standardbreite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 193
3.14.6.2 Überbreite Transportspur . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 193
3.14.6.3 Doppeltransport im Modus "Einfachtransport" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 193
3.14.7 Transportarten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 193
3.14.7.1 Transportart asynchron . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 194
3.14.7.2 Transportart synchron . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 195
3.14.8 Steuerung des Doppeltransports mit dem Einzelfunktionenmenü . . . . . . . . . . . . 195
3.14.9 Automatische Breitenverstellung beim Doppeltransport. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 195
3.15 Leiterplattenwölbung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .196
3.15.0.1 LP-Wölbung während des Transports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 196
3.15.0.2 LP-Wölbung beim Bestücken . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 198
4 SIPLACE Wafer-System (SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .199
4.1 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .200
4.1.1 Funktionsprinzip des SIPLACE Wafer-Systems (SWS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 200
4.1.2 Grundfunktionen des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 200
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4.1.3 Basic-Die-Presentation-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 201
4.1.3.1 Flip-Chip-Prozess. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 202
4.1.3.2 Die-Attach-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203
4.1.3.3 Die-Erkennung und -Positionierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 204
4.1.3.4 Ausstechvorgang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 204
4.1.3.5 Pickup-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 205
4.1.4 Embedded Wafer Level Ballgrid Array (eWLB/WLFO) Prozess. . . . . . . . . . . . . . 205
4.1.5 Pick & Transferprozess im Detail . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 207
4.1.5.1 Flip Chip Segment 1 (Pipette) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 207
4.1.5.2 Flip Chip Segment 1 (Z-Richtung) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 208
4.1.5.3 Die-Attach - Transferposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 209
4.1.5.4 Flip Chip codierte Positionen (nach dem Kalibrieren) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 210
4.2 Baugruppenübersichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 213
4.3 Beschreibung der SWS-Baugruppen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 216
4.3.1 Versorgungseinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 216
4.3.2 Flip-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 217
4.3.3 Wafer-Kamera-System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 219
4.3.4 Wafer-Tisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 219
4.3.4.1 Wafer-Aufnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 221
4.3.5 Die-Ejector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 222
4.3.6 Ausstech-Tool . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 225
4.3.7 Wafer-Wechsler-System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 226
4.3.7.1 Magazin-Lift . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 228
4.3.7.2 Wafer-Wechsler . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 229
4.4 Optionale Komponenten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 231
4.4.1 Linear-Dipping-Unit (LDU) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 231
4.4.2 Die-Attach-Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 232
4.4.3 Small-Die-Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233
4.4.4 Wafer-Map-System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233
4.4.5 Barcodescanner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233
4.4.5.1 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 234
4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .235
4.5.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 236
4.5.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 237
4.5.3 Bestückgenauigkeit und Leistungswerte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 237
4.5.4 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 238
4.5.5 Dehnfaktor mechanisch einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239
4.5.5.1 Vorbereitungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239
4.5.5.2 Einstellungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 240
4.5.6 Framebreite bei 8" Waferaufnahme einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 241
4.5.6.1 Vorbereitungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 241
4.5.6.2 Einstellungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 242
4.5.7 Waferaufnahme umbauen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 243
4.5.7.1 Teile aus Nachrüstsatz 12" Wafer Expander . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 244
4.5.7.2 Vorbereitungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 245
4.5.7.3 Ausbau der 8" Waferaufnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 246
4.5.7.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 256
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5 Aufstellen und Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .257
5.1 Abmessungen und Gewicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .257
5.2 Anlieferungskonfiguration und Transport des Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .257
5.2.1 Transportverpackung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 257
5.2.1.1 Abmessungen der Transportverpackung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 257
5.2.1.2 Gewicht des versandfertigen Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 258
5.2.2 Anlieferungskonfiguration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 258
5.2.3 Den Bestückautomaten in der Transportkiste transportieren . . . . . . . . . . . . . . . . 260
5.2.3.1 Dienstleistungsangebot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 260
5.2.3.2 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 260
5.2.3.3 Transportmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 260
5.2.3.4 Ansatzpunkte des Gabelstaplers an der Transportkiste bzw. Palette . . . . . . . . . 261
5.2.4 Den Bestückautomaten ohne Transportkiste oder Palette transportieren . . . . . . 261
5.2.4.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 261
5.2.4.2 Transportmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 262
5.2.4.3 Ansatzpunkte des Gabelstaplers am Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 262
5.2.4.4 Was Sie beim Transport unbedingt beachten sollten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 265
5.3 Anlieferungskonfiguration und Transport des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .266
5.3.1 Transportverpackung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 266
5.3.1.1 Abmessungen der Transportverpackung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 266
5.3.1.2 Gewicht des versandfertigen Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 266
5.3.2 Das SWS in der Transportkiste transportieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 267
5.3.2.1 Dienstleistungsangebot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 267
5.3.2.2 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 267
5.3.2.3 Transportmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 267
5.3.3 Das SWS ohne Transportkiste oder Palette transportieren . . . . . . . . . . . . . . . . . 268
5.3.3.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 268
5.3.3.2 Transportmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 268
5.3.3.3 Ansatzpunkte des Gabelstaplers am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 269
5.3.3.4 Was Sie beim Transport des SWS unbedingt beachten sollten . . . . . . . . . . . . . . 269
5.4 Infrastruktur des Aufstellungsorts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 270
5.4.1 Empfehlungen zur Untergrundbeschaffenheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 270
5.4.1.1 Maschinengewicht und Bodenbelastbarkeit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 270
5.4.1.2 Schwingungsgrenzwerte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 270
5.4.2 Druckluftversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 271
5.4.2.1 Druckluftversorgung überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 271
5.4.2.2 Druckluftanschluss am Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 272
5.4.3 Druckluftversorgung am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 273
5.4.4 Netzversorgung des Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 273
5.4.4.1 Gefahrenhinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 274
5.4.4.2 Netzversorgung überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 274
5.4.4.3 Netzversorgungskabel - Spezifikation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 274
5.4.4.4 Netzversorgungskabel anschließen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 276
5.4.4.5 Brücken für die Einschaltstrombegrenzung überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 277
5.5 Den Bestückautomaten aufstellen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .279
5.5.1 Leiterplatten-Transporthöhen des Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 279