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EJM9DC-MB-04E-0 1 NPM-W X/WXS OFF SERVO ON 基板检测传感器的清扫 1 4-10 -1 1 卸下托盘供料器或 者交换台车 2 3 使传送带宽度为 150 mm 基板传送带 工程师手册 4-10 10 9 安装托盘供料 器或者交换台 车 8 7 OFF SERVO ON ●托盘供料器时 ( → P.11-8) ●交换台车时 ( → P.2-4) ●托盘供料器时 ( → P.11-8) ●交换台车时 …
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4-9-2
1
2
3
3
打开前侧安全盖后，确认
・[F 安全盖]
的显示颜色是否从蓝色变成灰色
4
打开后侧安全盖后，确认
・[R 安全盖]
的显示颜色是否从蓝色变成灰色
1
2
4
安全开关 (安全盖) 的检查
对安全开关(安全盖)的检查方法进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 2 分钟
●顺序 至 ，是从设备前侧进行，顺序 是从设备的后侧进行操作。
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(显示「输入确认」画面显示)
要按动4次
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OFF SERVO ON
基板检测传感器的清扫 1
4-10-1
1
卸下托盘供料器或
者交换台车
2
3
使传送带宽度为
150 mm
基板传送带
工程师手册
4-10
10
9
安装托盘供料
器或者交换台
车
8
7
OFF SERVO ON
●托盘供料器时
(→P.11-8)
●交换台车时
(→P.2-4)
●托盘供料器时
(→P.11-8)
●交换台车时
(→P.2-4)
使用工具: 棉棒 所需时间: 5 分钟
对基板检测传感器的清扫方法进行说明。 请拆下托盘供料器后再作业。(→ P.10-8)
(→『操作手册』P.3-3-4)
●为了更有利于操作
安装供料器工作台
盖
(→P.2-5)
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●使用棉棒。
■单式传送带时
●基板检测传感器
投光侧、受光侧各有6个
■双式传送带时
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有6个
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基台2 基台1
基板检测传感器
将供料器工作台盖
倒向内侧(→P.2-5)
清扫基板检测传感器部