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EJM9DC-MB-04E-0 1 NPM-W X/WXS 4-10 -4 4 6 5 轨道 1 基板检测传感器 ( 受光侧 ) 轨道 2 基板检测传感器 ( 投光侧 ) 轨道 1 基板检测传感器 ( 投光侧 ) 轨道 2 基板检测传感器 ( 受光侧 ) 基板检测传感器 ( 受光侧 ) 基板检测传感器 ( 投光侧 ) ■设置在双式传送带的前 工序时的、 传感器的位置 将供料器工作台盖 倒向内侧。 ●不要倚靠在供料器工作台盖 上,也不要在…

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EJM9DC-MB-04E-01NPM-WX/WXS
OFF SERVO ON
基板检测传感器的清扫 2
4-10-3
工程师手册
4-10
延长传送带
1
2
3
使传送带宽度为
150 mm
10
9
8
7
安装供料器工作台
OFF SERVO ON
这里对基板检测传感器器的清扫方法进行说明
使用工具: 棉棒 所需时间: 5 分钟
(『操作手册』P.3-3-4)
●为了更有利于操作
卸下托盘供料器或
者交换台车
(P.2-4)
安装托盘供料
器或者交换台
●托盘供料器时
(P.11-8)
●交换台车时
(P.2-4)
●托盘供料器时
(P.11-8)
●交换台车时
(P.2-4)
EJM9DC-MB-04E-01NPM-WX/WXS
4-10-4
4
6
5
轨道1
基板检测传感器
(受光侧)
轨道2
基板检测传感器
(投光侧)
轨道1
基板检测传感器
(投光侧)
轨道2
基板检测传感器
(受光侧)
基板检测传感器
(受光侧)
基板检测传感器
(投光侧)
■设置在双式传送带的前工序时的、
传感器的位置
将供料器工作台盖
倒向内侧。
●不要倚靠在供料器工作台盖
上,也不要在上面放置物品。
清扫基板检测传感器部
●使用棉棒。
■设置在单式传送带的前工序时的、
传感器的位置
EJM9DC-MB-04E-01NPM-WX/WXS
OFF SERVO ON
传送带L、传送带R
基板检测传感器的清扫 3
4-10-5
工程师手册
4-10
3
2
1
使传送带宽度为
150 mm
6
5
SERVO
ON
4
基板检测传感器
使用工具: 棉棒 所需时间:2 分钟
●步骤②和⑥的伺服开关请操作离清扫的传送带的LR中近的伺服开关。
(『操作手册』P.3-3-4)
●为了更有利于操作
打开传送带的
上面盖
关闭传送带的
上面盖
清扫基板检测传感器部
●使用棉棒。
基板检测传感
轨道12的投光侧、受光侧各有2