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EJM9DC-MB-04E-0 1 NPM-W X/WXS OFF SERVO ON 传送带 L 、传送带 R 基板检测传感器的清扫 3 4-10 -5 工程师手册 4-10 3 2 1 使传送带宽度为 150 mm 6 5 SERVO ON 4 基板检测传感器 使用工具 : 棉棒 所需时间 :2 分钟 ●步骤②和⑥的伺服开关请操作离清扫的传送带的 L 、 R 中近的伺服开关。 ( → 『操作手册』 P.3-3-4) ●为了更有利于操作…
EJM9DC-MB-04E-01NPM-WX/WXS
4-10-4
4
6
5
轨道1
基板检测传感器
(受光侧)
轨道2
基板检测传感器
(投光侧)
轨道1
基板检测传感器
(投光侧)
轨道2
基板检测传感器
(受光侧)
基板检测传感器
(受光侧)
基板检测传感器
(投光侧)
■设置在双式传送带的前工序时的、
传感器的位置
将供料器工作台盖
倒向内侧。
●不要倚靠在供料器工作台盖
上，也不要在上面放置物品。
清扫基板检测传感器部
●使用棉棒。
■设置在单式传送带的前工序时的、
传感器的位置
EJM9DC-MB-04E-01NPM-WX/WXS
OFF SERVO ON
传送带L、传送带R
基板检测传感器的清扫 3
4-10-5
工程师手册
4-10
3
2
1
使传送带宽度为
150 mm
6
5
SERVO
ON
4
基板检测传感器
使用工具: 棉棒 所需时间:2 分钟
●步骤②和⑥的伺服开关请操作离清扫的传送带的L、R中近的伺服开关。
(→『操作手册』P.3-3-4)
●为了更有利于操作
打开传送带的
上面盖
关闭传送带的
上面盖
清扫基板检测传感器部
●使用棉棒。
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有2个
EJM9DC-MB-04E-01NPM-WX/WXS
4-10-6