BM123 Mechanical20071204 - 第211页
PART NAME REMARKS Q'TY 26 ﾍｯﾄﾞ部(吸着ｾﾝｻ部) HEAD SECT.(VAC UUM SENSOR SECT.) ｲﾗｽﾄ No. REF No. PART No. 部 品 名 品 番 個数 備 考 R 1 R 2 1 1086229800 HEAD UNIT ﾍｯﾄﾞ ﾕﾆｯﾄ 1 802 1086229802 BRACKET ﾌﾞﾗｹｯﾄ 1 803 1086229803 BRACKET ﾌ…
ﾍｯﾄﾞ部(吸着ｾﾝｻ部)
HEAD SECT.(VACUUM SENSOR SECT.)
26
F10862-29-800-AB
M187
PART NAME
REMARKS
Q'TY
26
ﾍｯﾄﾞ部(吸着ｾﾝｻ部)
HEAD SECT.(VACUUM SENSOR SECT.)
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART No.
部 品 名 品 番 個数 備 考
R
1
R
2
1 1086229800
HEAD UNIT ﾍｯﾄﾞﾕﾆｯﾄ
1
802 1086229802
BRACKET ﾌﾞﾗｹｯﾄ
1
803 1086229803
BRACKET ﾌﾞﾗｹｯﾄ
PSE200-MB4C
1
N801
N445PSE2-067
CONTROLLER ｺﾝﾄﾛｰﾗ
PSE541-R06-C1
1
N802
N510006468AA
SENSOR ｾﾝｻ
KQ2T08-06
1
N803
N431KQ2T0806
FITTING ﾂｷﾞﾃ
M188
F10862-29-800-AB
ﾍｯﾄﾞ部(吸着位置確認ｶﾒﾗ部）
HEAD SECT.(VACUUM POSITION CONFIRMATION CAMERA SECT.)
26
FN610031876AA_01
M189