BM123 Mechanical20071204 - 第212页
ﾍｯﾄﾞ部(吸着位置確 認ｶﾒﾗ部） HEAD SECT.(VAC UUM POSITION CONF IRMATION CAMERA SEC T.) 26 FN610031876AA_01 M189
PART NAME
REMARKS
Q'TY
26
ﾍｯﾄﾞ部(吸着ｾﾝｻ部)
HEAD SECT.(VACUUM SENSOR SECT.)
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART No.
部 品 名 品 番 個数 備 考
R
1
R
2
1 1086229800
HEAD UNIT ﾍｯﾄﾞﾕﾆｯﾄ
1
802 1086229802
BRACKET ﾌﾞﾗｹｯﾄ
1
803 1086229803
BRACKET ﾌﾞﾗｹｯﾄ
PSE200-MB4C
1
N801
N445PSE2-067
CONTROLLER ｺﾝﾄﾛｰﾗ
PSE541-R06-C1
1
N802
N510006468AA
SENSOR ｾﾝｻ
KQ2T08-06
1
N803
N431KQ2T0806
FITTING ﾂｷﾞﾃ
M188
F10862-29-800-AB
ﾍｯﾄﾞ部(吸着位置確認ｶﾒﾗ部）
HEAD SECT.(VACUUM POSITION CONFIRMATION CAMERA SECT.)
26
FN610031876AA_01
M189
PART NAME
REMARKS
Q'TY
26
ﾍｯﾄﾞ部(吸着位置確認ｶﾒﾗ部）
HEAD SECT.(VACUUM POSITION CONFIRMATION CAMERA SECT.)
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART No.
部 品 名 品 番 個数 備 考
R
1
R
2
1 N610031876AA
CAMERA UNIT ｶﾒﾗﾕﾆｯﾄ
1
652 1086209602
HOLDER ﾎﾙﾀﾞ
1
653 108620962302
BRACKET ﾌﾞﾗｹｯﾄ
1654 108620965401
SPACER ｽﾍﾟｰｻ
99YA
1
N651
N94199YA
LENS ﾚﾝｽﾞ
CS8630i-03 S
1
N652
N510023803AA
CAMERA ｶﾒﾗ
M190
FN610031876AA_01